1簡 介半導(dǎo)體技術(shù)節(jié)點中的傳統(tǒng)尺寸縮放是通過縮放金屬間距（MP）和接觸多晶硅間距（CPP）來實現(xiàn)的。在先進的CMOS技術(shù)節(jié)點（低...
互連——有時是納米寬的金屬線，將晶體管連接到 IC 上的電路中——需要進行大修。而隨著芯片廠向摩爾定律的外圍邁進，互連也...
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