盛美上海于2月25日在官方微信宣布，公司獲得來自歐洲一家全球性半導(dǎo)體制造商的首個(gè)12腔單片SAPS兆聲波清洗設(shè)備訂單。該設(shè)備配置了公司自主研發(fā)的空間交變相位移 (SAPS)技術(shù)，預(yù)計(jì)將于第四季度交付至該客戶的歐洲工廠。

盛美上海介紹，與傳統(tǒng)的兆聲波晶圓清洗系統(tǒng)中使用的固定式兆聲波發(fā)生器不同，使用SAPS技術(shù)后，晶圓旋轉(zhuǎn)時(shí)，通過控制兆聲波發(fā)生器與晶圓之間的相對運(yùn)動(dòng)，即使晶圓有翹曲，也能使晶圓上的所有點(diǎn)都獲得均勻的兆聲波能量。SAPS工藝的清洗效率比傳統(tǒng)兆聲波清洗工藝高，不會(huì)造成額外的材料損耗，同時(shí)還能減少晶圓表面的損傷。SAPS工藝清洗效果更加徹底、全面，并且已在1xnm及以下DRAM制造上獲得驗(yàn)證。

作為一家為半導(dǎo)體前道和先進(jìn)晶圓級封裝應(yīng)用提供晶圓工藝解決方案的領(lǐng)先供應(yīng)商，盛美上海從事單晶圓及槽式濕法清洗設(shè)備、電鍍設(shè)備、無應(yīng)力拋光設(shè)備、立式爐管設(shè)備、前道涂膠顯影設(shè)備和PECVD設(shè)備的開發(fā)、制造和銷售，并致力于為半導(dǎo)體制造商提供定制化、高性能、低消耗的工藝解決方案。

盛美上海表示，本次獲得該設(shè)備的歐洲首單是對公司技術(shù)實(shí)力以及銷售團(tuán)隊(duì)努力與付出的有力證明，并有望為公司帶來該客戶的重復(fù)訂單以及與該地區(qū)其他重點(diǎn)客戶新的合作機(jī)會(huì)。