訊(王珞)必聯(lián)網(wǎng)發(fā)布的中標(biāo)結(jié)果公告顯示，2月28日，萬業(yè)企業(yè)（600641）旗下嘉芯迦能的摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學(xué)沉積設(shè)備以及鈦/氮化鈦沉積設(shè)備成功中標(biāo)某公司特色工藝生產(chǎn)線建設(shè)招標(biāo)項(xiàng)目。嘉芯迦能為嘉芯半導(dǎo)體子公司。

自2022年下半年開始，嘉芯半導(dǎo)體研發(fā)生產(chǎn)的設(shè)備多次中標(biāo)，包含快速熱處理(RTP)、氮化硅等離子刻蝕機(jī)、金屬等離子刻蝕機(jī)、側(cè)墻等離子刻蝕機(jī)、高密度等離子薄膜沉積設(shè)備、二氧化硅等離子薄膜沉積設(shè)備以及鋁銅金屬濺射設(shè)備(PVD)等。