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電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道（文/劉靜）2022年半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中游的芯片設(shè)計(jì)企業(yè)業(yè)績(jī)出現(xiàn)較為普遍的下滑，在此背景下上游的半導(dǎo)體設(shè)備卻表現(xiàn)“風(fēng)景這邊獨(dú)好”。
根據(jù)CINNO Research的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，2022年應(yīng)用材料、阿斯麥、泛林、Tokyo Electron、科磊、迪恩士、愛德萬(wàn)測(cè)試、ASM國(guó)際、日立高新、泰瑞達(dá)的半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)營(yíng)收進(jìn)入全球前十榜單，它們營(yíng)收合計(jì)達(dá)1030億美元，創(chuàng)造近三年最高營(yíng)收紀(jì)錄，同比增長(zhǎng)6.1%。其中，位列全球第一的應(yīng)用材料，2022年半導(dǎo)體設(shè)備營(yíng)收同比增長(zhǎng)7.4%，此外愛德萬(wàn)測(cè)試、ASM國(guó)際、日立高新的半導(dǎo)體業(yè)務(wù)營(yíng)收也分別同比增長(zhǎng)4.6%、21.5%、21.1%。
從國(guó)際市場(chǎng)回到中國(guó)市場(chǎng)上，受益于強(qiáng)有力的國(guó)家戰(zhàn)略支持，密集的資本和人才投入，起步較晚的本土半導(dǎo)體設(shè)備上市公司在國(guó)產(chǎn)替代的重大機(jī)遇下，2022年業(yè)績(jī)迎來快速增長(zhǎng)，增速普遍高于國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備巨頭。
近日，電子發(fā)燒友對(duì)已發(fā)布2022財(cái)報(bào)的北方華創(chuàng)、富創(chuàng)精密、富樂德、易天股份、中微公司、廣立微、聯(lián)動(dòng)科技、金海通、芯源微、拓荊科技、華峰測(cè)控、華海清科、盛美上海等21家半導(dǎo)體設(shè)備上市公司進(jìn)行整理分析。
16家半導(dǎo)體設(shè)備上市公司2022營(yíng)收和凈利雙增長(zhǎng)！整體增速高于全球巨頭
電子發(fā)燒友對(duì)本土半導(dǎo)體設(shè)備21家上市公司的營(yíng)業(yè)收入、凈利潤(rùn)、增速進(jìn)行整理如下所示：
在增速這一點(diǎn)上，2022年?duì)I收和凈利均實(shí)現(xiàn)雙向正增長(zhǎng)的半導(dǎo)體設(shè)備上市公司達(dá)16家，分別為北方華創(chuàng)、中微公司、盛美上海、長(zhǎng)川科技、拓荊科技、華海清科、富創(chuàng)精密、芯源微、華峰測(cè)控、至純科技、微導(dǎo)納米、芯碁微裝、富樂德、金海通、廣立微、耐科裝備。而2022年?duì)I收或凈利出現(xiàn)負(fù)增長(zhǎng)的半導(dǎo)體設(shè)備上市公司是易天股份、光力科技、深科達(dá)、聯(lián)動(dòng)科技和晶升股份。
營(yíng)收增速上，全球前十的半導(dǎo)體設(shè)備商目前僅看到ASM國(guó)際、日立高新這兩家的半導(dǎo)體業(yè)務(wù)營(yíng)收增速在20%以上，而中國(guó)的這21家半導(dǎo)體設(shè)備上市公司2022年度營(yíng)收增速在20%以上的高達(dá)14家，且有10家實(shí)現(xiàn)50%以上的快速增長(zhǎng)。由此可見，2022年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備上市公司營(yíng)收增速是顯著高于國(guó)際巨頭的。
凈利增速上，中國(guó)本土的半導(dǎo)體設(shè)備上市公司表現(xiàn)比營(yíng)收更為良好。21家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)中，有一半的企業(yè)實(shí)現(xiàn)凈利正增長(zhǎng)，并且有7家實(shí)現(xiàn)翻倍高增長(zhǎng)，它們分別為北方華創(chuàng)、盛美上海、長(zhǎng)川科技、拓荊科技、華海清科、芯源微、深科達(dá)。
其中，表現(xiàn)最為亮眼的是來自科創(chuàng)板的拓荊科技，2022年?duì)I收和凈利增速分別高達(dá)125.02%、438.09%，成為21家半導(dǎo)體上市公司中業(yè)績(jī)?cè)鏊僮罡叩钠髽I(yè)。2023年一季度，拓荊科技一樣保持業(yè)績(jī)高速增長(zhǎng)，營(yíng)收同比增長(zhǎng)274.24%，歸母凈利潤(rùn)同比增長(zhǎng)552.25%，創(chuàng)單季度歷史新高，未來可期。
據(jù)了解，拓荊科技專注的是薄膜沉積設(shè)備的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，目前主營(yíng)產(chǎn)品是PECVD（等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）、ALD（原子層沉積）、SACVD（次常壓化學(xué)氣相沉積）及HDPCVD（高密度等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）等。
2022年拓荊科技業(yè)績(jī)之所以能實(shí)現(xiàn)大幅增長(zhǎng)，跟報(bào)告期內(nèi)其PECVD系列產(chǎn)品在客戶產(chǎn)線驗(yàn)證進(jìn)展順利有很大關(guān)系，其ALD系列產(chǎn)品中PE-ALD設(shè)備成功實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，Thermal-ALD設(shè)備也已完成開發(fā)并驗(yàn)證，且SA TEOS、BPSG、SAF薄膜工藝設(shè)備在芯片制造領(lǐng)域也均取得客戶驗(yàn)證，在國(guó)內(nèi)主要晶圓廠半導(dǎo)體設(shè)備需求大幅增加下，拓荊科技各大產(chǎn)品線設(shè)備銷售訂單大幅增加，截至2022年底拓荊科技在手銷售訂單金額為46.02億元，2022年簽訂銷售訂單金額為43.62億元，新增訂單與上年同期相比增加95.36%，為業(yè)績(jī)高增長(zhǎng)提供了有力保障。
北方華創(chuàng)、中微公司、盛美上海進(jìn)入2022半導(dǎo)體設(shè)備營(yíng)收前三，測(cè)試設(shè)備表現(xiàn)高毛利率
電子發(fā)燒友進(jìn)一步對(duì)上述21家上市公司的半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)占比、2022年半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)營(yíng)收、半導(dǎo)體設(shè)備毛利率等情況進(jìn)行整理：
2022年半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)占比在50%以上的上市公司有北方華創(chuàng)、中微公司、盛美上海、長(zhǎng)川科技、拓荊科技、華海清科、富創(chuàng)精密、芯源微、華峰測(cè)控、光力科技、金海通、廣立微、聯(lián)動(dòng)科技、耐科裝備、晶升股份，達(dá)15家。2022年這些以半導(dǎo)體設(shè)備為主營(yíng)業(yè)務(wù)的上市公司有9家實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備營(yíng)收增速大于50%，這再次證實(shí)了2022年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)績(jī)快速增長(zhǎng)的事實(shí)。
據(jù)電子發(fā)燒友的統(tǒng)計(jì)，以半導(dǎo)體設(shè)備營(yíng)收計(jì)，2022年進(jìn)入中國(guó)前五的上市公司是北方華創(chuàng)、中微公司、盛美上海、長(zhǎng)川科技、拓荊科技，華海清科距離Top5還相差2.54億元。其中，北方華創(chuàng)2022年以102.83億元的半導(dǎo)體設(shè)備收入位列中國(guó)第一，中微公司、盛美上海分別以47.40億元、27.56億元排名第二、第三。這排名前三的上市公司，2022年半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)收入增速均在50%以上，表現(xiàn)更為強(qiáng)勁的是盛美上海，同比增長(zhǎng)78.12%。
對(duì)于2022年半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)收入實(shí)現(xiàn)快速增長(zhǎng)，盛美上海表示主要原因系，“一、受益于國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)備需求的不斷增加，銷售訂單持續(xù)增長(zhǎng)；二、新客戶拓展、新市場(chǎng)開發(fā)等方面均取得一定成效，且新產(chǎn)品得到客戶認(rèn)可，訂單量穩(wěn)步增長(zhǎng)?！睂Ｗ⑶暗腊雽?dǎo)體設(shè)備研發(fā)的盛美上海，2022年推出了新一代ALD（熱原子層沉積）立式爐Ultra Fn A、前道涂膠顯影Ultra LithTM Track設(shè)備、Ultra PmaxTM PECVD設(shè)備以及CMP后清洗設(shè)備，并推出了6/8寸化合物半導(dǎo)體濕法工藝產(chǎn)品線，新品的持續(xù)推出為其2022年業(yè)績(jī)高增長(zhǎng)提供了保障。
國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭北方華創(chuàng)，產(chǎn)品線相對(duì)豐富，覆蓋刻蝕、薄膜、清洗、熱處理、晶體生長(zhǎng)等核心工藝裝備。在刻蝕設(shè)備方面，北方華創(chuàng)ICP刻蝕產(chǎn)品出貨累計(jì)超過2000腔，薄膜裝備累計(jì)出貨超3000腔，立式爐裝備累計(jì)出貨超過500臺(tái)，SiC外延爐、硅基GaN外延爐、6/8寸多片硅外延爐等外延設(shè)備累計(jì)出貨近千腔，清洗裝備也已在多家客戶實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，并屢獲重復(fù)訂單。
在盈利能力上，華峰測(cè)控的半導(dǎo)體設(shè)備毛利率最高，達(dá)77.01%。據(jù)了解，華峰測(cè)控主要是做半導(dǎo)體自動(dòng)化測(cè)試設(shè)備，是我國(guó)最大的半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備供應(yīng)商，近年其開始發(fā)力氮化鎵、碳化硅以及IGBT等功率分立器件和功率模塊類半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)域。2022年，華峰測(cè)控銷售了1500套測(cè)試系統(tǒng)設(shè)備，銷量較上年小幅下滑0.92%，但其產(chǎn)品單價(jià)是提高，這也使得華峰測(cè)控整體的銷售額保持增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。
同樣是做半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備的廣立微，當(dāng)期毛利率也表現(xiàn)突出，僅次于華峰測(cè)控，達(dá)53.76%。廣立微是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的晶圓級(jí)電性測(cè)試設(shè)備供應(yīng)商之一，2020年開始實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)WAT電性測(cè)試設(shè)備的量產(chǎn)，并成功規(guī)模化進(jìn)入國(guó)內(nèi)多家知名晶圓廠，2022年其銷售51臺(tái)半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備，較2021年增長(zhǎng)155%，具體單價(jià)并未披露。
研發(fā)累計(jì)投入54.15億，長(zhǎng)川科技高研發(fā)追趕，至純科技、晶升股份專利表現(xiàn)突出
2022年中國(guó)本土的半導(dǎo)體設(shè)備上市公司業(yè)績(jī)快速增長(zhǎng)，離不開長(zhǎng)期的研發(fā)投入。據(jù)電子發(fā)燒友統(tǒng)計(jì)，下圖21家半導(dǎo)體設(shè)備上市公司2022年研發(fā)累計(jì)投入達(dá)54.15億元。
其中，研發(fā)投入過億元的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)數(shù)量達(dá)12家，分別為北方華創(chuàng)、長(zhǎng)川科技、中微公司、盛美上海、拓荊科技、華海清科、至純科技、富創(chuàng)精密、金海通、耐科裝備、芯源微、華峰測(cè)控。此外，更值得一提的是微導(dǎo)納米，其2022年半導(dǎo)體設(shè)備營(yíng)收規(guī)模未過億元，但其研發(fā)投入達(dá)1.38億元，可見對(duì)研發(fā)的高度重視。
在國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)，上市公司2022年研發(fā)費(fèi)用的增速總體在30%以上，且研發(fā)投入金額較2021年增長(zhǎng)50%以上的企業(yè)數(shù)量高達(dá)7家，它們分別為長(zhǎng)川科技、中微公司、華海清科、富創(chuàng)精密、耐科裝備、富樂德。其中2022年研發(fā)投入加大幅度最大的半導(dǎo)體設(shè)備上市公司是長(zhǎng)川科技。長(zhǎng)川科技是一家100%以半導(dǎo)體設(shè)備為營(yíng)收的企業(yè)，2022年研發(fā)資金主要用于測(cè)試機(jī)、分選機(jī)、探針臺(tái)、AOI等設(shè)備產(chǎn)品的新品開發(fā)以及應(yīng)用工程開發(fā)、客戶定制化開發(fā)等。
在研發(fā)團(tuán)隊(duì)規(guī)模上，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭北方華創(chuàng)擁有近三千人的研發(fā)隊(duì)伍，其次是長(zhǎng)川科技的1790名研發(fā)人員。長(zhǎng)川科技的半導(dǎo)體設(shè)備營(yíng)收雖然沒有進(jìn)入2022年前三，但不管是在研發(fā)費(fèi)用，還是研發(fā)團(tuán)隊(duì)上，或者半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)增速上，其都強(qiáng)于中微公司和盛美上海，表現(xiàn)出更具想象力的發(fā)展?jié)摿Α?/p>
在專利數(shù)量上，北方華創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)積累較為深厚，2022年已獲得3900項(xiàng)專利，長(zhǎng)川科技、中微公司和盛美上海獲得專利數(shù)分別為605項(xiàng)、1266項(xiàng)、389項(xiàng)。值得一提是，營(yíng)收規(guī)模較小的至純科技專利數(shù)超過盛美上海，晶升股份專利數(shù)也表現(xiàn)突出，接近盛美上海。
小結(jié)：
經(jīng)過梳理，可見2022年我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備上市公司業(yè)績(jī)總體表現(xiàn)是相對(duì)亮眼的，在增速這一點(diǎn)上也比海外巨頭表現(xiàn)更為強(qiáng)勁，凈利潤(rùn)翻倍增長(zhǎng)企業(yè)頻現(xiàn)，這側(cè)面可以看出近年本土廠商在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的技術(shù)突破是快速的，這也是能夠在美國(guó)管制下成功供應(yīng)本土半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈廠商，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備營(yíng)收快速增長(zhǎng)的基礎(chǔ)。也許我們離海外巨頭還有不少需要追趕的距離，但國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備上市公司2022年普遍以超30%的增速加大研發(fā)投入開發(fā)新產(chǎn)品、新技術(shù)，更進(jìn)一步增添國(guó)產(chǎn)替代的信心。
根據(jù)CINNO Research的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，2022年應(yīng)用材料、阿斯麥、泛林、Tokyo Electron、科磊、迪恩士、愛德萬(wàn)測(cè)試、ASM國(guó)際、日立高新、泰瑞達(dá)的半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)營(yíng)收進(jìn)入全球前十榜單，它們營(yíng)收合計(jì)達(dá)1030億美元，創(chuàng)造近三年最高營(yíng)收紀(jì)錄，同比增長(zhǎng)6.1%。其中，位列全球第一的應(yīng)用材料，2022年半導(dǎo)體設(shè)備營(yíng)收同比增長(zhǎng)7.4%，此外愛德萬(wàn)測(cè)試、ASM國(guó)際、日立高新的半導(dǎo)體業(yè)務(wù)營(yíng)收也分別同比增長(zhǎng)4.6%、21.5%、21.1%。
從國(guó)際市場(chǎng)回到中國(guó)市場(chǎng)上，受益于強(qiáng)有力的國(guó)家戰(zhàn)略支持，密集的資本和人才投入，起步較晚的本土半導(dǎo)體設(shè)備上市公司在國(guó)產(chǎn)替代的重大機(jī)遇下，2022年業(yè)績(jī)迎來快速增長(zhǎng)，增速普遍高于國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備巨頭。
近日，電子發(fā)燒友對(duì)已發(fā)布2022財(cái)報(bào)的北方華創(chuàng)、富創(chuàng)精密、富樂德、易天股份、中微公司、廣立微、聯(lián)動(dòng)科技、金海通、芯源微、拓荊科技、華峰測(cè)控、華海清科、盛美上海等21家半導(dǎo)體設(shè)備上市公司進(jìn)行整理分析。
16家半導(dǎo)體設(shè)備上市公司2022營(yíng)收和凈利雙增長(zhǎng)！整體增速高于全球巨頭
電子發(fā)燒友對(duì)本土半導(dǎo)體設(shè)備21家上市公司的營(yíng)業(yè)收入、凈利潤(rùn)、增速進(jìn)行整理如下所示：
在增速這一點(diǎn)上，2022年?duì)I收和凈利均實(shí)現(xiàn)雙向正增長(zhǎng)的半導(dǎo)體設(shè)備上市公司達(dá)16家，分別為北方華創(chuàng)、中微公司、盛美上海、長(zhǎng)川科技、拓荊科技、華海清科、富創(chuàng)精密、芯源微、華峰測(cè)控、至純科技、微導(dǎo)納米、芯碁微裝、富樂德、金海通、廣立微、耐科裝備。而2022年?duì)I收或凈利出現(xiàn)負(fù)增長(zhǎng)的半導(dǎo)體設(shè)備上市公司是易天股份、光力科技、深科達(dá)、聯(lián)動(dòng)科技和晶升股份。
營(yíng)收增速上，全球前十的半導(dǎo)體設(shè)備商目前僅看到ASM國(guó)際、日立高新這兩家的半導(dǎo)體業(yè)務(wù)營(yíng)收增速在20%以上，而中國(guó)的這21家半導(dǎo)體設(shè)備上市公司2022年度營(yíng)收增速在20%以上的高達(dá)14家，且有10家實(shí)現(xiàn)50%以上的快速增長(zhǎng)。由此可見，2022年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備上市公司營(yíng)收增速是顯著高于國(guó)際巨頭的。
凈利增速上，中國(guó)本土的半導(dǎo)體設(shè)備上市公司表現(xiàn)比營(yíng)收更為良好。21家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)中，有一半的企業(yè)實(shí)現(xiàn)凈利正增長(zhǎng)，并且有7家實(shí)現(xiàn)翻倍高增長(zhǎng)，它們分別為北方華創(chuàng)、盛美上海、長(zhǎng)川科技、拓荊科技、華海清科、芯源微、深科達(dá)。
其中，表現(xiàn)最為亮眼的是來自科創(chuàng)板的拓荊科技，2022年?duì)I收和凈利增速分別高達(dá)125.02%、438.09%，成為21家半導(dǎo)體上市公司中業(yè)績(jī)?cè)鏊僮罡叩钠髽I(yè)。2023年一季度，拓荊科技一樣保持業(yè)績(jī)高速增長(zhǎng)，營(yíng)收同比增長(zhǎng)274.24%，歸母凈利潤(rùn)同比增長(zhǎng)552.25%，創(chuàng)單季度歷史新高，未來可期。
據(jù)了解，拓荊科技專注的是薄膜沉積設(shè)備的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，目前主營(yíng)產(chǎn)品是PECVD（等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）、ALD（原子層沉積）、SACVD（次常壓化學(xué)氣相沉積）及HDPCVD（高密度等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）等。
2022年拓荊科技業(yè)績(jī)之所以能實(shí)現(xiàn)大幅增長(zhǎng)，跟報(bào)告期內(nèi)其PECVD系列產(chǎn)品在客戶產(chǎn)線驗(yàn)證進(jìn)展順利有很大關(guān)系，其ALD系列產(chǎn)品中PE-ALD設(shè)備成功實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，Thermal-ALD設(shè)備也已完成開發(fā)并驗(yàn)證，且SA TEOS、BPSG、SAF薄膜工藝設(shè)備在芯片制造領(lǐng)域也均取得客戶驗(yàn)證，在國(guó)內(nèi)主要晶圓廠半導(dǎo)體設(shè)備需求大幅增加下，拓荊科技各大產(chǎn)品線設(shè)備銷售訂單大幅增加，截至2022年底拓荊科技在手銷售訂單金額為46.02億元，2022年簽訂銷售訂單金額為43.62億元，新增訂單與上年同期相比增加95.36%，為業(yè)績(jī)高增長(zhǎng)提供了有力保障。
北方華創(chuàng)、中微公司、盛美上海進(jìn)入2022半導(dǎo)體設(shè)備營(yíng)收前三，測(cè)試設(shè)備表現(xiàn)高毛利率
電子發(fā)燒友進(jìn)一步對(duì)上述21家上市公司的半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)占比、2022年半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)營(yíng)收、半導(dǎo)體設(shè)備毛利率等情況進(jìn)行整理：
2022年半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)占比在50%以上的上市公司有北方華創(chuàng)、中微公司、盛美上海、長(zhǎng)川科技、拓荊科技、華海清科、富創(chuàng)精密、芯源微、華峰測(cè)控、光力科技、金海通、廣立微、聯(lián)動(dòng)科技、耐科裝備、晶升股份，達(dá)15家。2022年這些以半導(dǎo)體設(shè)備為主營(yíng)業(yè)務(wù)的上市公司有9家實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備營(yíng)收增速大于50%，這再次證實(shí)了2022年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)績(jī)快速增長(zhǎng)的事實(shí)。
據(jù)電子發(fā)燒友的統(tǒng)計(jì)，以半導(dǎo)體設(shè)備營(yíng)收計(jì)，2022年進(jìn)入中國(guó)前五的上市公司是北方華創(chuàng)、中微公司、盛美上海、長(zhǎng)川科技、拓荊科技，華海清科距離Top5還相差2.54億元。其中，北方華創(chuàng)2022年以102.83億元的半導(dǎo)體設(shè)備收入位列中國(guó)第一，中微公司、盛美上海分別以47.40億元、27.56億元排名第二、第三。這排名前三的上市公司，2022年半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)收入增速均在50%以上，表現(xiàn)更為強(qiáng)勁的是盛美上海，同比增長(zhǎng)78.12%。
對(duì)于2022年半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)收入實(shí)現(xiàn)快速增長(zhǎng)，盛美上海表示主要原因系，“一、受益于國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)備需求的不斷增加，銷售訂單持續(xù)增長(zhǎng)；二、新客戶拓展、新市場(chǎng)開發(fā)等方面均取得一定成效，且新產(chǎn)品得到客戶認(rèn)可，訂單量穩(wěn)步增長(zhǎng)?！睂Ｗ⑶暗腊雽?dǎo)體設(shè)備研發(fā)的盛美上海，2022年推出了新一代ALD（熱原子層沉積）立式爐Ultra Fn A、前道涂膠顯影Ultra LithTM Track設(shè)備、Ultra PmaxTM PECVD設(shè)備以及CMP后清洗設(shè)備，并推出了6/8寸化合物半導(dǎo)體濕法工藝產(chǎn)品線，新品的持續(xù)推出為其2022年業(yè)績(jī)高增長(zhǎng)提供了保障。
國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭北方華創(chuàng)，產(chǎn)品線相對(duì)豐富，覆蓋刻蝕、薄膜、清洗、熱處理、晶體生長(zhǎng)等核心工藝裝備。在刻蝕設(shè)備方面，北方華創(chuàng)ICP刻蝕產(chǎn)品出貨累計(jì)超過2000腔，薄膜裝備累計(jì)出貨超3000腔，立式爐裝備累計(jì)出貨超過500臺(tái)，SiC外延爐、硅基GaN外延爐、6/8寸多片硅外延爐等外延設(shè)備累計(jì)出貨近千腔，清洗裝備也已在多家客戶實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，并屢獲重復(fù)訂單。
在盈利能力上，華峰測(cè)控的半導(dǎo)體設(shè)備毛利率最高，達(dá)77.01%。據(jù)了解，華峰測(cè)控主要是做半導(dǎo)體自動(dòng)化測(cè)試設(shè)備，是我國(guó)最大的半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備供應(yīng)商，近年其開始發(fā)力氮化鎵、碳化硅以及IGBT等功率分立器件和功率模塊類半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)域。2022年，華峰測(cè)控銷售了1500套測(cè)試系統(tǒng)設(shè)備，銷量較上年小幅下滑0.92%，但其產(chǎn)品單價(jià)是提高，這也使得華峰測(cè)控整體的銷售額保持增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。
同樣是做半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備的廣立微，當(dāng)期毛利率也表現(xiàn)突出，僅次于華峰測(cè)控，達(dá)53.76%。廣立微是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的晶圓級(jí)電性測(cè)試設(shè)備供應(yīng)商之一，2020年開始實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)WAT電性測(cè)試設(shè)備的量產(chǎn)，并成功規(guī)模化進(jìn)入國(guó)內(nèi)多家知名晶圓廠，2022年其銷售51臺(tái)半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備，較2021年增長(zhǎng)155%，具體單價(jià)并未披露。
研發(fā)累計(jì)投入54.15億，長(zhǎng)川科技高研發(fā)追趕，至純科技、晶升股份專利表現(xiàn)突出
2022年中國(guó)本土的半導(dǎo)體設(shè)備上市公司業(yè)績(jī)快速增長(zhǎng)，離不開長(zhǎng)期的研發(fā)投入。據(jù)電子發(fā)燒友統(tǒng)計(jì)，下圖21家半導(dǎo)體設(shè)備上市公司2022年研發(fā)累計(jì)投入達(dá)54.15億元。
其中，研發(fā)投入過億元的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)數(shù)量達(dá)12家，分別為北方華創(chuàng)、長(zhǎng)川科技、中微公司、盛美上海、拓荊科技、華海清科、至純科技、富創(chuàng)精密、金海通、耐科裝備、芯源微、華峰測(cè)控。此外，更值得一提的是微導(dǎo)納米，其2022年半導(dǎo)體設(shè)備營(yíng)收規(guī)模未過億元，但其研發(fā)投入達(dá)1.38億元，可見對(duì)研發(fā)的高度重視。
在國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)，上市公司2022年研發(fā)費(fèi)用的增速總體在30%以上，且研發(fā)投入金額較2021年增長(zhǎng)50%以上的企業(yè)數(shù)量高達(dá)7家，它們分別為長(zhǎng)川科技、中微公司、華海清科、富創(chuàng)精密、耐科裝備、富樂德。其中2022年研發(fā)投入加大幅度最大的半導(dǎo)體設(shè)備上市公司是長(zhǎng)川科技。長(zhǎng)川科技是一家100%以半導(dǎo)體設(shè)備為營(yíng)收的企業(yè)，2022年研發(fā)資金主要用于測(cè)試機(jī)、分選機(jī)、探針臺(tái)、AOI等設(shè)備產(chǎn)品的新品開發(fā)以及應(yīng)用工程開發(fā)、客戶定制化開發(fā)等。
在研發(fā)團(tuán)隊(duì)規(guī)模上，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭北方華創(chuàng)擁有近三千人的研發(fā)隊(duì)伍，其次是長(zhǎng)川科技的1790名研發(fā)人員。長(zhǎng)川科技的半導(dǎo)體設(shè)備營(yíng)收雖然沒有進(jìn)入2022年前三，但不管是在研發(fā)費(fèi)用，還是研發(fā)團(tuán)隊(duì)上，或者半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)增速上，其都強(qiáng)于中微公司和盛美上海，表現(xiàn)出更具想象力的發(fā)展?jié)摿Α?/p>
在專利數(shù)量上，北方華創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)積累較為深厚，2022年已獲得3900項(xiàng)專利，長(zhǎng)川科技、中微公司和盛美上海獲得專利數(shù)分別為605項(xiàng)、1266項(xiàng)、389項(xiàng)。值得一提是，營(yíng)收規(guī)模較小的至純科技專利數(shù)超過盛美上海，晶升股份專利數(shù)也表現(xiàn)突出，接近盛美上海。
小結(jié)：
經(jīng)過梳理，可見2022年我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備上市公司業(yè)績(jī)總體表現(xiàn)是相對(duì)亮眼的，在增速這一點(diǎn)上也比海外巨頭表現(xiàn)更為強(qiáng)勁，凈利潤(rùn)翻倍增長(zhǎng)企業(yè)頻現(xiàn)，這側(cè)面可以看出近年本土廠商在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的技術(shù)突破是快速的，這也是能夠在美國(guó)管制下成功供應(yīng)本土半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈廠商，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備營(yíng)收快速增長(zhǎng)的基礎(chǔ)。也許我們離海外巨頭還有不少需要追趕的距離，但國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備上市公司2022年普遍以超30%的增速加大研發(fā)投入開發(fā)新產(chǎn)品、新技術(shù)，更進(jìn)一步增添國(guó)產(chǎn)替代的信心。
