中石科技：高導(dǎo)熱相變材料或電磁屏蔽涂料尚未應(yīng)用于光刻機(jī)領(lǐng)域

來(lái)源：金融界 64805/28

金融界3月12日消息，有投資者在互動(dòng)平臺(tái)向中石科技（300684）提問(wèn)：ASML光刻機(jī)的光源系統(tǒng)(如EUV激光等離子發(fā)生器)需在極端溫度下保持穩(wěn)定性，公司的高導(dǎo)熱相變材料(如導(dǎo)熱凝膠)或電磁屏蔽涂料是否已通過(guò)國(guó)內(nèi)光刻機(jī)廠商(如上海微電子)的

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