搶建半導(dǎo)體工廠
2020 年,由于新冠病毒的出現(xiàn),遠程工作、在線學(xué)習(xí)、在線購物的需求開始呈現(xiàn)爆發(fā)式增長,這導(dǎo)致2021年全球半導(dǎo)體短缺。此外,“誰控制半導(dǎo)體,誰控制世界”的熱潮已經(jīng)到來,在全球范圍內(nèi)掀起興建半導(dǎo)體工廠的熱潮。它以明確的數(shù)字表示。圖1顯示了全球以及每個國家和地區(qū)的半導(dǎo)體工廠開工數(shù)量。放眼全球,2021-2023年將開工建設(shè)85家工廠,而2018-2020年為64家。

圖 1 全球和每個國家/地區(qū)已開工建設(shè)的半導(dǎo)體工廠數(shù)量特別是美國(3→18)、歐洲(7→18)、日本(3→6)、東南亞(1→6)工廠開工數(shù)量大幅增加。另一方面,相比之下,中國的工廠開工數(shù)量(34→20)將急劇下降(括號中的數(shù)字表示2018-2020和2021-2023年的開工數(shù)量)。本文重點關(guān)注美國的半導(dǎo)體政策,并討論它如何影響或預(yù)計將影響世界。預(yù)測結(jié)論如下。美國于2022年10月7日公布的對華條例(以下簡稱“2022.10.7”條例)是不同維度的強硬措施,將對中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)造成巨大傷害。筆者推測,臺積電決定在美國、日本和德國建代工廠,就是為了分散產(chǎn)能,以防出現(xiàn)這種情況。
第一個轉(zhuǎn)折點“2020年5月14日”
以超過50%的市場占有率在半導(dǎo)體代工領(lǐng)域獨領(lǐng)風(fēng)騷,在尖端微型化領(lǐng)域走在前列的臺積電,原本無意在美國建廠,因為美國的半導(dǎo)體生產(chǎn)比中國臺灣貴 50%。然而,2020年5月14日,臺積電宣布將投資120億美元在美國亞利桑那州建設(shè)5nm半導(dǎo)體工廠。他們可能是在多次受到美國政府的邀請,并得到提供大量補貼的承諾后,才決定進軍美國的。同樣在同一天,臺積電決定在同年9月14日之后,不再向以5G通信基站征服世界的華為出貨半導(dǎo)體。從臺積電各地區(qū)的出貨額比例來看,包括Apple、Qualcomm、Broadcom、NVIDIA、AMD等大客戶在內(nèi)的美國比例在60%~70%甚至更高(圖2)。另一方面,華為是僅次于蘋果的第二大客戶,2020年Q2在中國的份額為22%,但隨著臺積電停止向華為出貨,同年Q3份額跌至6%。由于無法從臺積電采購芯片,華為的智能手機和 5G 基站業(yè)務(wù)受到重創(chuàng)。

圖 2 臺積電各地區(qū)銷售額比例(截至 2022 年第 3 季度)“2020 年 5 月 14 日”,當(dāng)該公司進入亞利桑那州并暫停向華為出貨時,是臺積電加入美國的日子,被認(rèn)為是半導(dǎo)體歷史的轉(zhuǎn)折點。
美國 CHIPS 法案的頒布
2022年8月9日,在“2020年5月14日”兩年多之后,美國總統(tǒng)拜登簽署了《芯片與科學(xué)法案》(CHIPS Act),這是一部促進半導(dǎo)體國內(nèi)制造的法律正式成立。CHIPS 法案包括對美國半導(dǎo)體制造和研發(fā)的 527 億美元補貼。

圖 3 美國 CHIPS 法案補貼的主要候選制造商美國英特爾將在亞利桑那州和俄亥俄州投資20-300億美元建設(shè)處理器工廠和代工廠。受美國政府邀請的臺積電,原計劃投資120億美元,在亞利桑那州建設(shè)月產(chǎn)能2萬片晶圓的5納米晶圓代工廠。但在“2022/10/7”規(guī)定公布后,決定量產(chǎn)4nm,即5nm的改進版,而不是5nm,并建設(shè)第二個3nm工廠。月產(chǎn)能將達到5.5萬張,投資金額將增加3.3倍至400億美元。與此同時,想要在晶圓代工領(lǐng)域趕超臺積電的三星,將投資170億美元在德克薩斯州建設(shè)3nm晶圓代工廠。包括SK海力士在內(nèi)的SK集團計劃向半導(dǎo)體研發(fā)中心和清潔能源投資總計220億美元。英特爾等宣布,每100億美元可以補貼30億美元。因此,這些半導(dǎo)體制造商迫切希望根據(jù) CHIPS 法案獲得補貼。
問題浮出水面
然而,一個大問題浮出水面。與CHIPS法案同時出臺的還有一份名為《CHIPS法案將降低成本、創(chuàng)造就業(yè)、強化供應(yīng)鏈》的簡報,據(jù)透露存在“護欄”。為確保美國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的競爭力得到保護,其“護欄”規(guī)定“受補貼的公司將在未來 10 年內(nèi)被禁止投資/擴建中國最先進的芯片制造設(shè)施(28 納米及以上)?!?/p>有了這個“護欄”,臺積電在中國南京工廠生產(chǎn)40-16nm邏輯半導(dǎo)體,三星在中國西安工廠生產(chǎn)3D NAND閃存,在中國無錫工廠生產(chǎn)DRAM,英特爾在中國大連的工廠生產(chǎn) 3D NAND 的 SK 海力士,如果根據(jù) CHIPS 法獲得補貼,在未來 10 年內(nèi)將無法對上述中國工廠進行任何投資(1 年暫緩,但不是真正的解決方案)。其中,臺積電在中國的南京工廠占公司產(chǎn)量不到10%,但三星西安工廠生產(chǎn)的3D NAND占公司產(chǎn)量的40%左右。SK海力士的大連工廠約占公司3D NAND的30%,無錫工廠約占公司DRAM的50%。如果三星和 SK 海力士根據(jù) CHIPS 法案獲得補貼,它們將無法在中國投資先進或增產(chǎn)的內(nèi)存工廠。半導(dǎo)體存儲器在兩年內(nèi)保持了一代領(lǐng)先優(yōu)勢,保持了競爭力。因此,對存儲器制造商說“不要投資”等同于被告知“去死”。因此,這些韓國廠商陷入了不得不考慮退出中國的境地。但是,這些韓國廠商在中國有著巨大的市場,而且是應(yīng)中國政府的要求,在中國的優(yōu)惠待遇下生產(chǎn)內(nèi)存。因此,不可能輕易退出??傊?,在中美拉鋸戰(zhàn)中,三星和SK海力士面臨著極其艱難的選擇。
第二個轉(zhuǎn)折點“2022.10.7”
2022年10月7日,美國宣布對中國實施與以往不同維度的嚴(yán)厲出口管制,“2022年10月7日”。以下是出口限制等,特別是與半導(dǎo)體制造相關(guān)的出口限制。1.美國在“2022 年 10 月 7 日”條例中的目的是遏制中國超級計算機和可用于軍事技術(shù)的 AI 半導(dǎo)體的發(fā)展。2.禁止出口中國將用于超級計算機和人工智能的高性能半導(dǎo)體(包括 NVIDIA GPU 和 AMD CPU,以及在美國境外使用美國技術(shù)制造的半導(dǎo)體)。3.此外,為防止中國研發(fā)和制造先進半導(dǎo)體,禁止出口美國設(shè)備(包括其零部件和材料),禁止美國人員(高管、工程師、現(xiàn)場工程師等)參與。4.尤其是監(jiān)管網(wǎng)被應(yīng)用到半導(dǎo)體成膜設(shè)備上,此前一直沒有受到太多關(guān)注。出口受制于規(guī)定的薄膜沉積設(shè)備時,必須獲得美國政府的許可(無論是針對先進半導(dǎo)體制造商還是非先進制造商)。5.此外,將禁止向中國半導(dǎo)體制造設(shè)備制造商出口美國制造的零部件和材料。這與設(shè)備制造商是否為尖端半導(dǎo)體無關(guān)。6.在中國的外國半導(dǎo)體制造商(臺積電、三星、SK 海力士)也將受到監(jiān)管。這里,“3”中的先進半導(dǎo)體定義為16/14nm或更晚的邏輯半導(dǎo)體、18nm或更晚的半間距DRAM和128層或更多層的三維NAND。美國設(shè)備制造商 Applied Materials (AMAT)、Lam Research (Lam) 和 KLA 向這些先進半導(dǎo)體制造商出口設(shè)備將被禁止。另外,ASML的曝光設(shè)備,其光源由美國Cymer制造,也極有可能被禁止出口。此外,美國盟友日本東京電子公司(TEL)的設(shè)備也可能被禁止。
“2022.10.7”法規(guī)對中國半導(dǎo)體行業(yè)的影響
圖4顯示了各公司在前端設(shè)備中的份額??梢钥闯觯绹?、日本和歐洲的設(shè)備制造商在各個領(lǐng)域都占據(jù)著市場份額。在這種情況下,“2022.10.7”規(guī)定將產(chǎn)生怎樣的影響?

圖4 各公司各前段制程設(shè)備市場占有率(2021年)首先,中芯國際等尖端半導(dǎo)體廠商將無力新建工廠。這是因為禁止向尖端半導(dǎo)體制造商出口非先進設(shè)備(甚至禁止辦公家具)。其次,如上節(jié)“4”所述,出口半導(dǎo)體成膜設(shè)備時,必須獲得美國政府的許可。在圖4中,AMAT和Lam CVD設(shè)備(總份額66.2%)和AMAT濺射設(shè)備(86%份額)屬于此類。令人驚訝的是,這些薄膜沉積設(shè)備的規(guī)定非常詳細(xì),包括材料(Cu、Co、Ru、TiN、W等)、工藝條件(壓力、溫度、氣體等)、薄膜厚度等。目前是許可制而不是禁運,但好像隨時都可能被禁運。到目前為止,美國對中國的監(jiān)管主要集中在小型化方面,例如“禁止能夠制造 16/14 納米或更高版本的設(shè)備”。但是,“2022.10.7”規(guī)定不僅適用于微細(xì)加工相關(guān)的曝光設(shè)備和干法刻蝕設(shè)備,還適用于成膜設(shè)備。如果沉積設(shè)備的出口申請未獲批準(zhǔn)(這似乎很有可能),中國半導(dǎo)體制造商(先進和非先進)將不得不建設(shè)新工廠。變得困難。如果發(fā)生這種情況,許多將在2021年至2023年開始建設(shè)的中國半導(dǎo)體工廠,如開頭圖1所示,將無法安裝設(shè)備,無法制造半導(dǎo)體。此外,“2022.10.7”規(guī)定禁止美國制造的各種設(shè)備耗材出口,美國現(xiàn)場工程師再也無法支持設(shè)備運行。例如,在一個月產(chǎn)10萬片硅片的半導(dǎo)體工廠里,有500到1000臺各類設(shè)備在運轉(zhuǎn)。由于這些都是精密設(shè)備,只有各設(shè)備制造商的現(xiàn)場工程師進行故障排除和定期維護,才能正常運行。當(dāng)現(xiàn)場工程師離開且耗材部件不再可用時,設(shè)備最終將停止工作。這意味著半導(dǎo)體工廠關(guān)閉。換言之,可以說“2022.10.7”規(guī)定可能會導(dǎo)致目前正在運營的中國半導(dǎo)體工廠停工。那么,中國能否研發(fā)國產(chǎn)設(shè)備,制造半導(dǎo)體,就成了難點。
對設(shè)備制造商和材料制造商的影響
“2022年10月7日”規(guī)定對于中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)來說將是一劑致命的毒藥,但對美國、日本和歐洲的設(shè)備制造商和材料制造商的損害也將是巨大的。圖 5顯示了各地區(qū)設(shè)備市場的趨勢。2020年以來,中國的設(shè)備市場已經(jīng)超過中國臺灣和韓國,成為全球第一大設(shè)備市場。

圖 5 各地區(qū)半導(dǎo)體制造設(shè)備市場(至 2021 年)2021年中國296.2億美元,韓國249.8億美元,中國臺灣249.4億美元,日本78.0億美元,美國76.1億美元,歐洲32.5億美元,中國市場還包括臺積電、三星和SK海力士工廠)。但是,由于“2022.10.7”的規(guī)定,在中國建立新的(尤其是尖端的)半導(dǎo)體工廠將變得困難重重。因此,中國的設(shè)備市場將大大減少。我預(yù)計損失約為 100 億美元。而如果中國的設(shè)備市場快速萎縮,美國、日本、歐洲的所有設(shè)備制造商的銷售額都會下降。設(shè)備銷售額較大的AMAT、ASML、TEL、Lam和KLA預(yù)計將出現(xiàn)數(shù)億至數(shù)十億美元的下滑。此外,在中國,不僅不可能新建半導(dǎo)體工廠,現(xiàn)有的半導(dǎo)體工廠也有可能停產(chǎn)。如果發(fā)生這種情況,晶圓、抗蝕劑、CMP漿料和各種化學(xué)品等材料業(yè)務(wù)將受到很大損害。如圖6所示,日本企業(yè)在半導(dǎo)體材料市場占有率高的領(lǐng)域有很多。因此,對于日本的材料制造商來說,這將是一個艱難的局面。

圖6 各公司前處理材料市場份額及日本市場份額(2020年)2022年12月6日在臺積電亞利桑那工廠舉行開工儀式時,臺積電創(chuàng)始人張忠謀說,“全球主義自由貿(mào)易幾乎死了,很多人希望它能再次復(fù)活,但我認(rèn)為不會?!?/p>考慮到“2022.10.7”規(guī)定的內(nèi)容,有不同程度的嚴(yán)苛,影響之大,我不得不同意張忠謀先生的說法。
為什么臺積電要在美國、日本和德國建廠
如前所述,臺積電將在美國亞利桑那州建設(shè)中的工廠制造4nm,即5nm的改進版,同時還將建設(shè)第二座3nm工廠??傇庐a(chǎn)能為5.5萬張,總投資為400億美元,是初始投資額的3.3倍(圖7)。

圖7 臺積電各地區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)能此外,臺積電目前正在日本熊本建設(shè)28/22~16/14nm工廠,并浮出水面建設(shè)第二工廠的談判。有傳言稱,第二家工廠將是7nm先進半導(dǎo)體。此外,臺積電正考慮投資數(shù)十億美元在德國建設(shè)28/22納米晶圓廠。為什么臺積電要在美國、日本和德國建廠?一開始,臺積電應(yīng)該是不愿意在其他國家或地區(qū)建代工廠的。然而,一個完整的轉(zhuǎn)折點,決定在美國、日本和德國建立代工廠。這樣做的原因現(xiàn)在應(yīng)該很清楚了。由于美國宣布過于嚴(yán)格的“2022年10月7日”規(guī)定。臺積電決定將其半導(dǎo)體生產(chǎn)基地分布到其他國家和地區(qū)(有保險的意思)。現(xiàn)代人類文明是由半導(dǎo)體支撐的。其中,7nm及一下尖端半導(dǎo)體有92%由臺積電制造,因此臺積電極為重要。沒有臺積電的尖端技術(shù),就無法制造最新的iPhone、高性能計算機和人工智能半導(dǎo)體。人類文明的進步,離不開臺積電的微細(xì)加工技術(shù)。*聲明:本文系原作者創(chuàng)作。文章內(nèi)容系其個人觀點,我方轉(zhuǎn)載僅為分享與討論,不代表我方贊成或認(rèn)同,如有異議,請聯(lián)系后臺。