一、芯片生產(chǎn)設(shè)備

光刻機(jī)：

張江高科持有上海微電子10.76%的股權(quán)，上海微電子能夠生產(chǎn)光刻機(jī)；

刻蝕機(jī)：

中微公司刻蝕設(shè)備收入31億，目前等離子體刻蝕設(shè)備可以用在5nm線上；

北方華創(chuàng)布局涵蓋刻蝕、沉積、清洗、熱處理、檢測等多環(huán)節(jié)，屬于平臺型企業(yè)；

薄膜沉積設(shè)備：

北方華創(chuàng)：刻蝕機(jī)、PVD、CVD、氧化/擴(kuò)散爐、退火爐、清洗機(jī)等產(chǎn)品；

中微公司：業(yè)務(wù)包括刻蝕設(shè)備、MOCVD和備品備件。

原子層沉積設(shè)備：

微導(dǎo)納米：原子層沉積設(shè)備龍頭；21年收入4.28億；

拓荊科技：產(chǎn)品包括PECVD設(shè)備，ALD設(shè)備，SACVD設(shè)備；

CMP拋光設(shè)備：

華海清科：300系列化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備 、 200系列化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備

清洗設(shè)備：

盛美上海：22年半導(dǎo)體清洗設(shè)備營收20.78億；

北方華創(chuàng)：布局涵蓋刻蝕、沉積、清洗、熱處理、檢測等多環(huán)節(jié)；

芯源微：涂膠/顯影機(jī)，噴膠機(jī)，清洗機(jī)，去膠機(jī)，濕法刻蝕機(jī)；

離子注入機(jī)：

萬業(yè)企業(yè)：萬業(yè)企業(yè)控股子公司凱世通是國內(nèi)離子注入機(jī)龍頭，目前產(chǎn)品包括自產(chǎn)離子注入機(jī)、離子注入平臺、離子注入機(jī)耗材備件等；

前道量測設(shè)備：

精測電子：產(chǎn)品包括面板顯示檢測、半導(dǎo)體量測檢測、鋰電池檢測設(shè)備；

賽騰股份：2019年收購日本OPTIMA株式會社，進(jìn)入半導(dǎo)體檢測裝備領(lǐng)域；、

封測設(shè)備：

長川科技：半導(dǎo)體封測設(shè)備龍頭企業(yè)，生產(chǎn)測試機(jī)、分選機(jī)；

華峰測控：半導(dǎo)體自動化測試系統(tǒng)，測試系統(tǒng)配件；

金海通：平移式測試分選機(jī)、重力式測試分選機(jī)、轉(zhuǎn)塔式測試分選機(jī)；

和林微納：21年芯片測試探針臺收入1.56億；

二、設(shè)備零部件：

新萊應(yīng)材：半導(dǎo)體管閥核心零部件供應(yīng)商；

富創(chuàng)精密：國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件的領(lǐng)軍企業(yè)，能夠量產(chǎn)應(yīng)用于7nm工藝制程半導(dǎo)體設(shè)備的精密零部件制造商；

江豐電子：半導(dǎo)體靶材龍頭，公司新開發(fā)的各種精密零部件產(chǎn)品主要包括傳輸腔體、反應(yīng)腔體、膛體、圓環(huán)類組件、保護(hù)盤體、冷卻盤體、噴淋頭等已經(jīng)在多家國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備及芯片制造頭部企業(yè)實(shí)現(xiàn)批量交貨；

三、半導(dǎo)體材料

硅片：12英寸的國產(chǎn)化率10%

滬硅產(chǎn)業(yè)：8英寸和12英寸半導(dǎo)體硅片，12英寸產(chǎn)能60萬片/月

立昂微：8英寸和12英寸半導(dǎo)體硅片，12英寸產(chǎn)能45萬片/月

TCL中環(huán)：8英寸和12英寸半導(dǎo)體硅片，12英寸62萬片/月

神工股份：8英寸硅片

有研硅：8英寸硅片

電子特氣：國產(chǎn)化率15%

華特氣體：2021年特種氣體收入7.97億；

南大光電：2022年特氣產(chǎn)品收入11.95億；

金宏氣體：2022年特種氣體收入7.44億元；

昊華科技：2021年特種氣體收入1.16億元；

拋光液拋光墊，國產(chǎn)化率30%

安集科技：2022年化學(xué)機(jī)械拋光液收入9.51億；

鼎龍股份：拋光墊、拋光液收入5.22億元；

光刻膠：國產(chǎn)化率10%

南大光電：公司ArF光刻膠驗(yàn)證工作正在穩(wěn)步推進(jìn)；

彤程新材：公司目前生產(chǎn)半導(dǎo)體光刻膠、顯示面板光刻膠等，半導(dǎo)體光刻膠還包括G/I線、KrF光刻膠。

晶瑞電材：2021年光刻膠及配套產(chǎn)品收入2.74億元；

濕法電子化學(xué)產(chǎn)品：國產(chǎn)化率20%

晶瑞電材：高純雙氧水、高純硫酸、高純氨水等電子材料均達(dá)到SEMI G5等級，批量供貨國內(nèi)頭部半導(dǎo)體企業(yè)；

江化微：2022年超凈高純化試劑收入6.28億；

新宙邦：電池化學(xué)品、有機(jī)氟化學(xué)品、電容器化學(xué)品和半導(dǎo)體化學(xué)品

靶材：國產(chǎn)化率30%

江豐電子：22年超高純靶材收入16.11億元；

有研新材：公司業(yè)務(wù)分為“電磁光醫(yī)”四大板塊。電板塊：集成電路用靶材、貴金屬等業(yè)務(wù)，對應(yīng)全資子公司有研億金；