3月31日，日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省提出了計(jì)劃“新增23類禁止出口的尖端半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備”的政令，并計(jì)劃在今年五月修改政令、7月份正式實(shí)施。如今正處于收集公眾意見(jiàn)(Public Comment)的階段。

不管最后結(jié)果如何，其實(shí)都是給我們敲了一記警鐘，我國(guó)進(jìn)口替代的邏輯也是有望強(qiáng)化的，今天榮寶就和大家分享半導(dǎo)體設(shè)備這一細(xì)分領(lǐng)域，它和上次講的半導(dǎo)體材料的結(jié)合便是半導(dǎo)體制造工藝的基石。

半導(dǎo)體設(shè)備分為前道制造設(shè)備以及后道封測(cè)設(shè)備。其中，前道設(shè)備主要包括光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、離子注入設(shè)備、清洗設(shè)備、機(jī)械拋光設(shè)備以及擴(kuò)散設(shè)備。而后道測(cè)試設(shè)備主要包括分選機(jī)、測(cè)試機(jī)、劃片機(jī)、貼片機(jī)等。從市場(chǎng)規(guī)模來(lái)看，前道晶圓制造設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模占整個(gè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模的80%以上。

來(lái)源：富榮基金

其中，光刻是將設(shè)計(jì)好的電路圖從掩膜版轉(zhuǎn)印到晶圓表面的光刻膠上，通過(guò)曝光、顯影將目標(biāo)圖形印刻到特定材料上的技術(shù)，可以簡(jiǎn)單理解為畫(huà)圖過(guò)程，是晶圓制造中最重要的技術(shù)。光刻機(jī)是半導(dǎo)體芯片制造業(yè)中最核心的設(shè)備，由于它技術(shù)的超高難度以及系統(tǒng)的復(fù)雜性，導(dǎo)致光刻機(jī)在全世界形成了超高的技術(shù)門(mén)檻，與此同時(shí)，制造光刻機(jī)具有非常高的難度。

制造光刻機(jī)就像是在微觀世界里“造房子”——光刻機(jī)是一個(gè)由幾萬(wàn)個(gè)精密零件、幾百個(gè)執(zhí)行器傳感器、千萬(wàn)行代碼組成的超復(fù)雜思維系統(tǒng)，它的內(nèi)部運(yùn)動(dòng)精度誤差不超過(guò)一根頭發(fā)絲的千分之一。就像坐在一架超音速飛行的飛機(jī)上，拿著線頭穿進(jìn)另一架飛機(jī)上的針孔。

不僅是光刻機(jī)，整個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的升級(jí)迭代，在很大程度上有賴于精密零部件的關(guān)鍵技術(shù)突破。半導(dǎo)體零部件具有高精密、高潔凈、超強(qiáng)耐腐蝕能力、耐擊穿電壓等特性，生產(chǎn)工藝涉及精密機(jī)械制造、工程材料、表面處理特種工藝、電子電機(jī)整合及工程設(shè)計(jì)等多個(gè)領(lǐng)域和學(xué)科，是半導(dǎo)體設(shè)備核心技術(shù)的直接保障。

榮寶再給大家進(jìn)一步說(shuō)說(shuō)，按照通用性劃分，半導(dǎo)體設(shè)備零部件是可以分為精密機(jī)加件和通用外購(gòu)件的。

具體來(lái)看，精密機(jī)加件一般由各設(shè)備公司工程師自行設(shè)計(jì)，委外加工，一般只用于本公司生產(chǎn)設(shè)備，如工藝腔室、傳輸腔室。這種零部件的國(guó)產(chǎn)化相對(duì)容易，一般對(duì)表面處理、精密機(jī)加工等技術(shù)要求較高。

而通用外購(gòu)件一般是經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期驗(yàn)證，得到眾多設(shè)備商、晶圓制造廠廣泛認(rèn)可的通用零部件，更加標(biāo)準(zhǔn)化，應(yīng)用數(shù)量也更大，不僅設(shè)備商會(huì)采購(gòu)，晶圓廠也會(huì)采購(gòu)此類部件作為耗材和備件使用，例如石英件、射頻電源、泵、閥門(mén)、密封圈、流量計(jì)、陶瓷件等。這類零部件需要較強(qiáng)的通用性和一致性，并得到設(shè)備廠、晶圓廠的認(rèn)證，因此國(guó)產(chǎn)化難度較大。

了解了這一板塊以后，榮寶再跟大家分享下富榮基金研究員毛運(yùn)宏近期的觀點(diǎn)。

毛運(yùn)宏認(rèn)為，目前我國(guó)半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈自主可控的決心，以及產(chǎn)品和技術(shù)的突破，其實(shí)是有一些超預(yù)期的。在今年2月前，半導(dǎo)體設(shè)備板塊的預(yù)期差較大，市場(chǎng)偏向于認(rèn)為被美國(guó)制裁的公司在相當(dāng)一段時(shí)間內(nèi)不能擴(kuò)產(chǎn)了，被封鎖的產(chǎn)品我們做不出來(lái)。但最近一些事件的催化使大家的預(yù)期在變好，預(yù)期差在縮小。不過(guò)單純從基本面的邊際變化和產(chǎn)品的突破進(jìn)程來(lái)看，半導(dǎo)體制造設(shè)備仍是我們建議重點(diǎn)關(guān)注的板塊。

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