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? 日本半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備制造商正在積極進(jìn)行設(shè)備投資。隨著制作超微細(xì)半導(dǎo)體電路的技術(shù)、將多個(gè)半導(dǎo)體堆疊起來的技術(shù)、純電動(dòng)汽車（EV）用功率半導(dǎo)體等技術(shù)的發(fā)展，高性能半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備的需求不斷增加。在半導(dǎo)體市場(chǎng)行情惡化的逆風(fēng)下，日企正在重點(diǎn)投資中長(zhǎng)期內(nèi)需求確實(shí)有望擴(kuò)大的領(lǐng)域。東京精密在埼玉縣飯能市新設(shè)工廠，將于2023年7月投產(chǎn)。投資額接近200億日元。將增產(chǎn)通過向半導(dǎo)體晶圓傳送電信號(hào)來檢測(cè)是否存在不合格品的設(shè)備。東京精密在這一設(shè)備領(lǐng)域擁有全球5～6成份額。增產(chǎn)后該公司總體的設(shè)備制造能力將提升到2021年度的1.5倍。生產(chǎn)同一領(lǐng)域檢測(cè)設(shè)備零部件的日本Micronix（邁克尼斯）也投資約135億日元，在青森縣和韓國首爾近郊的富川市新設(shè)工廠。目標(biāo)是在2024年8月之前竣工。半導(dǎo)體的超微細(xì)加工是檢測(cè)設(shè)備需求增加的第一大利好因素。存儲(chǔ)用半導(dǎo)體和運(yùn)算處理用半導(dǎo)體等最尖端產(chǎn)品的電路線寬已微細(xì)化至個(gè)位數(shù)～20納米。即使是肉眼看不見的微小傷痕，也會(huì)導(dǎo)致短路或斷線。因此，不僅半導(dǎo)體生產(chǎn)需要高精度，產(chǎn)品的性能檢測(cè)也需要達(dá)到以納米為單位進(jìn)行測(cè)量的精度。要實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體電路的超微細(xì)加工，也離不開EUV（極紫外線）這一最新光刻技術(shù)。EUV很難控制，因此需要使用可精確發(fā)現(xiàn)偏差和缺陷的檢測(cè)設(shè)備。在使用電子束的測(cè)量設(shè)備領(lǐng)域占有全球7成份額的日立高新技術(shù)（Hitachi High-Tech）充滿期待地表示：“在光刻和蝕刻等制造工序前后進(jìn)行檢測(cè)的機(jī)會(huì)將會(huì)增加，所需設(shè)備數(shù)量也會(huì)增長(zhǎng)”。第二大推動(dòng)因素是隨著縱向重疊半導(dǎo)體芯片的“3D封裝”問世，出現(xiàn)了新的檢測(cè)需求。堆疊芯片時(shí)，連接和布線會(huì)變得更復(fù)雜。輸送電信號(hào)的地方和檢測(cè)項(xiàng)目增加，檢測(cè)比較麻煩費(fèi)時(shí)。要想降低量產(chǎn)成本，就要更加快速準(zhǔn)確地進(jìn)行檢測(cè)。“越來越多客戶想要增加設(shè)備臺(tái)數(shù)及能迅速檢測(cè)的設(shè)備”，日本廠商愛德萬感受到了3D化正拉動(dòng)設(shè)備需求。
隨著半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的3D化，愛德萬的檢測(cè)設(shè)備需求增長(zhǎng)純電動(dòng)汽車上配備的功率半導(dǎo)體的需求猛增也帶動(dòng)檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)活躍。東麗子公司東麗Engineering于1月向市場(chǎng)投放了用于EV等的功率半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備。由于EV用功率半導(dǎo)體要處理高電壓大電流，因此必須著眼于耐用性進(jìn)行檢測(cè)。該公司的設(shè)備使用光學(xué)顯微鏡技術(shù)，以普通設(shè)備5倍的精度進(jìn)行檢測(cè)。各家設(shè)備企業(yè)為了運(yùn)用最尖端技術(shù)而進(jìn)行的研究開發(fā)投資也越來越多。從事半導(dǎo)體晶圓電路原版缺陷檢測(cè)設(shè)備業(yè)務(wù)的日本Lasertec公司計(jì)劃2023財(cái)年（2023年6月）實(shí)施230億日元的設(shè)備投資，達(dá)到上財(cái)年的4.3倍。該公司正在橫濱市建設(shè)研究開發(fā)基地，計(jì)劃2023年7月啟動(dòng)?；嘏溆锌梢栽囍七\(yùn)算處理用半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備的清潔車間等。由于新冠疫情下透支了數(shù)字需求，半導(dǎo)體市場(chǎng)行情進(jìn)入了調(diào)整期。制造設(shè)備和檢測(cè)設(shè)備也遇冷，局部出現(xiàn)客戶要求推遲交貨期及訂單減少的情況。另一方面，微細(xì)化、3D化及EV用功率半導(dǎo)體等技術(shù)革新在中長(zhǎng)期創(chuàng)造新需求。不易受到眼下供求調(diào)整帶來的動(dòng)蕩的影響。日本各家設(shè)備企業(yè)重點(diǎn)投資增長(zhǎng)領(lǐng)域，力爭(zhēng)擴(kuò)大利潤(rùn)。據(jù)調(diào)查公司GlobalNet預(yù)測(cè)，半導(dǎo)體檢測(cè)相關(guān)設(shè)備的全球市場(chǎng)規(guī)模到2026年將擴(kuò)大到3.6萬億日元，達(dá)到2020年的近3倍。日本經(jīng)濟(jì)新聞（中文版：日經(jīng)中文網(wǎng)）松浦奈美版權(quán)聲明：日本經(jīng)濟(jì)新聞社版權(quán)所有，未經(jīng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載或部分復(fù)制，違者必究。
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隨著半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的3D化，愛德萬的檢測(cè)設(shè)備需求增長(zhǎng)純電動(dòng)汽車上配備的功率半導(dǎo)體的需求猛增也帶動(dòng)檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)活躍。東麗子公司東麗Engineering于1月向市場(chǎng)投放了用于EV等的功率半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備。由于EV用功率半導(dǎo)體要處理高電壓大電流，因此必須著眼于耐用性進(jìn)行檢測(cè)。該公司的設(shè)備使用光學(xué)顯微鏡技術(shù)，以普通設(shè)備5倍的精度進(jìn)行檢測(cè)。各家設(shè)備企業(yè)為了運(yùn)用最尖端技術(shù)而進(jìn)行的研究開發(fā)投資也越來越多。從事半導(dǎo)體晶圓電路原版缺陷檢測(cè)設(shè)備業(yè)務(wù)的日本Lasertec公司計(jì)劃2023財(cái)年（2023年6月）實(shí)施230億日元的設(shè)備投資，達(dá)到上財(cái)年的4.3倍。該公司正在橫濱市建設(shè)研究開發(fā)基地，計(jì)劃2023年7月啟動(dòng)?；嘏溆锌梢栽囍七\(yùn)算處理用半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備的清潔車間等。由于新冠疫情下透支了數(shù)字需求，半導(dǎo)體市場(chǎng)行情進(jìn)入了調(diào)整期。制造設(shè)備和檢測(cè)設(shè)備也遇冷，局部出現(xiàn)客戶要求推遲交貨期及訂單減少的情況。另一方面，微細(xì)化、3D化及EV用功率半導(dǎo)體等技術(shù)革新在中長(zhǎng)期創(chuàng)造新需求。不易受到眼下供求調(diào)整帶來的動(dòng)蕩的影響。日本各家設(shè)備企業(yè)重點(diǎn)投資增長(zhǎng)領(lǐng)域，力爭(zhēng)擴(kuò)大利潤(rùn)。據(jù)調(diào)查公司GlobalNet預(yù)測(cè)，半導(dǎo)體檢測(cè)相關(guān)設(shè)備的全球市場(chǎng)規(guī)模到2026年將擴(kuò)大到3.6萬億日元，達(dá)到2020年的近3倍。日本經(jīng)濟(jì)新聞（中文版：日經(jīng)中文網(wǎng)）松浦奈美版權(quán)聲明：日本經(jīng)濟(jì)新聞社版權(quán)所有，未經(jīng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載或部分復(fù)制，違者必究。日經(jīng)中文網(wǎng) https://cn.nikkei.com????????????????????????
