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該來的總會來。5月23日，日本政府正式出臺半導體制造設(shè)備出口管制措施。這個舉措早在市場預(yù)料當中，在今年1月份的時候，美國就與日本和荷蘭達成了一項協(xié)議，這項協(xié)議的目的就是限制向中國大陸出口制造先進半導體所需的設(shè)備。限制向中國出口這些半導體設(shè)備會對荷蘭日本造成很大的影響，損害日本以及荷蘭相關(guān)企業(yè)的利益。要知道，日本半導體設(shè)備有很大一部分都是出口到中國。根據(jù)相關(guān)數(shù)據(jù)顯示，2022年日本向中國大陸出口的半導體設(shè)備金額就達到8,200億日元，約合424億人民幣，中國是日企在該領(lǐng)域的第一大出口目的地，占他們半導體設(shè)備出口的比重達到30%左右，這個金額差不多相當于日本出口到美國的兩倍左右。按照目前日本半導體設(shè)備企業(yè)對中國市場依賴度來看，限制對中國出口對他們來說無疑是傷敵一千自損八百的做法。
但日本最終還是下定決心限制23類先進半導體設(shè)備的出口。在今年3月31日的時候，日本經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)上就修改了《外匯及外國貿(mào)易法》。修改之后，日本將限制六大類23種芯片制造設(shè)備出口，這些半導體設(shè)備涉及芯片的清潔、沉積、光刻、蝕刻以及檢測等。具體包括3項清洗設(shè)備、11項薄膜沉積設(shè)備、1項熱處理設(shè)備、4項光刻/曝光設(shè)備、3項刻蝕設(shè)備、1項測試設(shè)備，這些設(shè)備涉及到尼康、東京電子等十幾家日本企業(yè)。
根據(jù)日本有關(guān)媒體的報道，本次追加的23種產(chǎn)品除了面向42個“友好”國家和地區(qū)外，其余出口對象國家和地區(qū)都需要經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)大臣的個案審批許可。但是按照美國和日本簽署的協(xié)議來看，他們基本上不可能將這些設(shè)備出口到中國大陸的。中國芯片行業(yè)能夠頂?shù)米幔?/strong>中國作為全球最大的半導體消費國之一，這幾年國產(chǎn)芯片發(fā)展非常迅猛，我國對半導體設(shè)備的需求量也非常龐大。但是看到中國半導體產(chǎn)業(yè)的迅猛崛起，有一些國家就看不下去了，于是就采取一些非市場化的手段來限制中國半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，試圖通過這種卑劣的手段來維持他們在半導體產(chǎn)業(yè)的領(lǐng)先地位。他們對中國半導體產(chǎn)業(yè)的限制可以說是越來越嚴，剛開始主要是限制部分企業(yè)采購設(shè)備，后來限制一些芯片大廠代工中國大陸最先進的芯片，再到后來干脆直接限制先進的半導體設(shè)備向中國出口了。如果外部限制向中國出口半導體先進設(shè)備，這對于國產(chǎn)半導體產(chǎn)業(yè)影響確實是比較大的，因為目前我國半導體產(chǎn)業(yè)對進口設(shè)備的依賴度還是比較大的。
看到這很多人都替國產(chǎn)半導體產(chǎn)業(yè)擔心，甚至懷疑國產(chǎn)芯片產(chǎn)業(yè)能否頂?shù)米。?/p>針對這個問題，我們來看一下日本限制出口的一些設(shè)備以及國產(chǎn)的替代率就知道答案。半導體制造是一個非常復(fù)雜的產(chǎn)業(yè)，可以說是全球最復(fù)雜的生產(chǎn)工藝之一，所以在制造的過程當中所需的設(shè)備非常龐大，而且很多設(shè)備都是只有少數(shù)國家才能生產(chǎn)。根據(jù)VLSI Research之前發(fā)布的一份數(shù)據(jù)顯示，在整個半導體制造設(shè)備市場，美國占比達到41.7%、日本占比31.1%、荷蘭占比18.8%。相當于全球91%左右的半導體設(shè)備市場被美國，荷蘭和日本所霸占，尤其是在高端半導體設(shè)備上面，他們占據(jù)的份額更高。假如這些國家完全禁止向中國出口一些先進半導體設(shè)備的，對國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)的影響確實是比較大的，我們來對比幾項關(guān)鍵設(shè)備的國產(chǎn)替代率就知道。1、光刻機。光刻機是芯片生產(chǎn)過程當中最核心的一個零部件之一，光刻機的工藝制程直接決定著芯片的工藝。而目前全球最先進的光刻機只有荷蘭的ASML能夠生產(chǎn)，他們已經(jīng)生產(chǎn)出了7納米紫外線光刻機(EUV)，能夠用于生產(chǎn)5納米，3納米甚至2納米的芯片。但是目前ASML是不能向我國出口EUV光刻機的，而且按照他們跟美國日本簽署的協(xié)議，未來還有可能原禁止向中國出口DUV光刻機。而此次日本出臺的限制措施，日本尼康和佳能的先進光刻機也不能向中國出口，如此一來中國連14納米生產(chǎn)工藝都會受到影響，短期內(nèi)無法找到替代方案。目前我國真正已經(jīng)量產(chǎn)的光刻機只有90納米，雖然我國有部分企業(yè)已經(jīng)研發(fā)出了28納米的光刻機，但目前還處于試驗階段，還沒有正式量產(chǎn)。如果未來國產(chǎn)28納米光刻機正式投入量產(chǎn)，通過工藝上改進，可以用于生產(chǎn)14納米的芯片，但是7納米以下的芯片仍然無法生產(chǎn)。2、蝕刻機。相對于光刻機來說，我國蝕刻機受影響倒是不會很大，目前我國蝕刻機最先進水平已經(jīng)達到5納米，而且5納米以下蝕刻機技術(shù)也實現(xiàn)了突破。只不過從整體來說，目前國產(chǎn)蝕刻機的市場份額相對比較小，在全球蝕刻機市場，90%以上的市場份額被泛林集團，日本東京電子和美國應(yīng)用材料三家企業(yè)霸占，國產(chǎn)蝕刻機供應(yīng)商中微以及北方華創(chuàng)只占了小部分的市場份額。但隨著日本以及美國禁止向中國出口這些先進設(shè)備，這倒是會給國內(nèi)企業(yè)帶來更多的市場機會。3、沉積設(shè)備。沉積設(shè)備在芯片制造過程當中也是非常關(guān)鍵的，而且沉積設(shè)備設(shè)計的設(shè)備種類非常繁多，包括PVD設(shè)備，CVD設(shè)備，ECD設(shè)備、ALD設(shè)備等等。目前全球大部分沉積設(shè)備市場都是被美國的應(yīng)用材料、泛林集團和日本東京電子所占據(jù)，但國內(nèi)也有很多企業(yè)可以替代，包括北方華創(chuàng)、上海中微、拓荊科技都能夠生產(chǎn)相關(guān)沉積設(shè)備。4、清洗設(shè)備。清洗設(shè)備主要包括單片清洗設(shè)備，槽式清洗設(shè)備，批式旋轉(zhuǎn)噴淋清洗設(shè)備，洗刷器等等。目前全球的先進清洗設(shè)備主要被日本的Screen Semiconductor Solutions、東京電子、美國泛林集團、三星SEMES、SK海力士Mujin公司所占據(jù)。但國內(nèi)也有部分廠家能夠生產(chǎn)出8~12寸晶圓的清洗設(shè)備，如果日本限制向中國出口這些設(shè)備了，國產(chǎn)相關(guān)企業(yè)能也能夠替代上來。5、檢測設(shè)備。目前半導體檢測設(shè)備主要被美國科磊半導體、應(yīng)用材料、日立等一些美國和日本企業(yè)占據(jù)，這兩個國家占據(jù)全球半導體檢測設(shè)備市場份額至少達到90%以上。但我國國內(nèi)也有相關(guān)企業(yè)能夠生產(chǎn)出一些中低端的設(shè)備，包括中科飛測，上海精測等企業(yè)都有較強的實力，如果半導體清洗設(shè)備被禁止出口到我國了，國內(nèi)相關(guān)企業(yè)也是能夠替代部分市場的。從整體來說除了光刻機等一些核心設(shè)備之外，其實芯片生產(chǎn)過程當中所使用的大部分設(shè)備我國都能夠生產(chǎn)。只不過跟日本、美國所生產(chǎn)的一些設(shè)備相比，國產(chǎn)設(shè)備在性能、穩(wěn)定性方面可能有一些差距，所以很多芯片這個廠家都更傾向于采購進口設(shè)備，結(jié)果導致目前我國70%以上的半導體設(shè)備都依賴進口。但如果日本等一些國家完全禁止向中國出口這些先進半導體設(shè)備，也并不是說中國完全就束手無策，稍微給國產(chǎn)供應(yīng)鏈一些時間，我相信國產(chǎn)相關(guān)企業(yè)也是能夠替代上來的。至少在14納米以上的芯片工藝當中，很多設(shè)備國內(nèi)都能夠找到相關(guān)的替代方案。另外這次日本禁止向中國出口的主要是一些先進半導體設(shè)備，對一些中低端設(shè)備應(yīng)該是可以正常出口到中國。所以從整體來說，即便日本美國荷蘭禁止向中國出口設(shè)備了，影響也僅僅是14納米以下的先進芯片工藝，對一些中低端芯片工藝影響并不會太大。另外，外部限制向我國出口半導體設(shè)備也未必見的是一件壞事，所以塞翁失馬，焉知非福。在這些進口設(shè)備市場份額減少之后，反而有可能給國內(nèi)企業(yè)更多的市場空間，一旦國內(nèi)供應(yīng)鏈有更多的市場，有更多的利潤了，才能夠有更多的錢去研發(fā)。所以從長期來看，外部限制向我國出口半導體設(shè)備，反而有利于刺激國內(nèi)半導體產(chǎn)鏈的發(fā)展。
但日本最終還是下定決心限制23類先進半導體設(shè)備的出口。在今年3月31日的時候，日本經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)上就修改了《外匯及外國貿(mào)易法》。修改之后，日本將限制六大類23種芯片制造設(shè)備出口，這些半導體設(shè)備涉及芯片的清潔、沉積、光刻、蝕刻以及檢測等。具體包括3項清洗設(shè)備、11項薄膜沉積設(shè)備、1項熱處理設(shè)備、4項光刻/曝光設(shè)備、3項刻蝕設(shè)備、1項測試設(shè)備，這些設(shè)備涉及到尼康、東京電子等十幾家日本企業(yè)。根據(jù)日本有關(guān)媒體的報道，本次追加的23種產(chǎn)品除了面向42個“友好”國家和地區(qū)外，其余出口對象國家和地區(qū)都需要經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)大臣的個案審批許可。但是按照美國和日本簽署的協(xié)議來看，他們基本上不可能將這些設(shè)備出口到中國大陸的。中國芯片行業(yè)能夠頂?shù)米幔?/strong>中國作為全球最大的半導體消費國之一，這幾年國產(chǎn)芯片發(fā)展非常迅猛，我國對半導體設(shè)備的需求量也非常龐大。但是看到中國半導體產(chǎn)業(yè)的迅猛崛起，有一些國家就看不下去了，于是就采取一些非市場化的手段來限制中國半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，試圖通過這種卑劣的手段來維持他們在半導體產(chǎn)業(yè)的領(lǐng)先地位。他們對中國半導體產(chǎn)業(yè)的限制可以說是越來越嚴，剛開始主要是限制部分企業(yè)采購設(shè)備，后來限制一些芯片大廠代工中國大陸最先進的芯片，再到后來干脆直接限制先進的半導體設(shè)備向中國出口了。如果外部限制向中國出口半導體先進設(shè)備，這對于國產(chǎn)半導體產(chǎn)業(yè)影響確實是比較大的，因為目前我國半導體產(chǎn)業(yè)對進口設(shè)備的依賴度還是比較大的。看到這很多人都替國產(chǎn)半導體產(chǎn)業(yè)擔心，甚至懷疑國產(chǎn)芯片產(chǎn)業(yè)能否頂?shù)米。?/p>針對這個問題，我們來看一下日本限制出口的一些設(shè)備以及國產(chǎn)的替代率就知道答案。半導體制造是一個非常復(fù)雜的產(chǎn)業(yè)，可以說是全球最復(fù)雜的生產(chǎn)工藝之一，所以在制造的過程當中所需的設(shè)備非常龐大，而且很多設(shè)備都是只有少數(shù)國家才能生產(chǎn)。根據(jù)VLSI Research之前發(fā)布的一份數(shù)據(jù)顯示，在整個半導體制造設(shè)備市場，美國占比達到41.7%、日本占比31.1%、荷蘭占比18.8%。相當于全球91%左右的半導體設(shè)備市場被美國，荷蘭和日本所霸占，尤其是在高端半導體設(shè)備上面，他們占據(jù)的份額更高。假如這些國家完全禁止向中國出口一些先進半導體設(shè)備的，對國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)的影響確實是比較大的，我們來對比幾項關(guān)鍵設(shè)備的國產(chǎn)替代率就知道。1、光刻機。光刻機是芯片生產(chǎn)過程當中最核心的一個零部件之一，光刻機的工藝制程直接決定著芯片的工藝。而目前全球最先進的光刻機只有荷蘭的ASML能夠生產(chǎn)，他們已經(jīng)生產(chǎn)出了7納米紫外線光刻機(EUV)，能夠用于生產(chǎn)5納米，3納米甚至2納米的芯片。但是目前ASML是不能向我國出口EUV光刻機的，而且按照他們跟美國日本簽署的協(xié)議，未來還有可能原禁止向中國出口DUV光刻機。而此次日本出臺的限制措施，日本尼康和佳能的先進光刻機也不能向中國出口，如此一來中國連14納米生產(chǎn)工藝都會受到影響，短期內(nèi)無法找到替代方案。目前我國真正已經(jīng)量產(chǎn)的光刻機只有90納米，雖然我國有部分企業(yè)已經(jīng)研發(fā)出了28納米的光刻機，但目前還處于試驗階段，還沒有正式量產(chǎn)。如果未來國產(chǎn)28納米光刻機正式投入量產(chǎn)，通過工藝上改進，可以用于生產(chǎn)14納米的芯片，但是7納米以下的芯片仍然無法生產(chǎn)。2、蝕刻機。相對于光刻機來說，我國蝕刻機受影響倒是不會很大，目前我國蝕刻機最先進水平已經(jīng)達到5納米，而且5納米以下蝕刻機技術(shù)也實現(xiàn)了突破。只不過從整體來說，目前國產(chǎn)蝕刻機的市場份額相對比較小，在全球蝕刻機市場，90%以上的市場份額被泛林集團，日本東京電子和美國應(yīng)用材料三家企業(yè)霸占，國產(chǎn)蝕刻機供應(yīng)商中微以及北方華創(chuàng)只占了小部分的市場份額。但隨著日本以及美國禁止向中國出口這些先進設(shè)備，這倒是會給國內(nèi)企業(yè)帶來更多的市場機會。3、沉積設(shè)備。沉積設(shè)備在芯片制造過程當中也是非常關(guān)鍵的，而且沉積設(shè)備設(shè)計的設(shè)備種類非常繁多，包括PVD設(shè)備，CVD設(shè)備，ECD設(shè)備、ALD設(shè)備等等。目前全球大部分沉積設(shè)備市場都是被美國的應(yīng)用材料、泛林集團和日本東京電子所占據(jù)，但國內(nèi)也有很多企業(yè)可以替代，包括北方華創(chuàng)、上海中微、拓荊科技都能夠生產(chǎn)相關(guān)沉積設(shè)備。4、清洗設(shè)備。清洗設(shè)備主要包括單片清洗設(shè)備，槽式清洗設(shè)備，批式旋轉(zhuǎn)噴淋清洗設(shè)備，洗刷器等等。目前全球的先進清洗設(shè)備主要被日本的Screen Semiconductor Solutions、東京電子、美國泛林集團、三星SEMES、SK海力士Mujin公司所占據(jù)。但國內(nèi)也有部分廠家能夠生產(chǎn)出8~12寸晶圓的清洗設(shè)備，如果日本限制向中國出口這些設(shè)備了，國產(chǎn)相關(guān)企業(yè)能也能夠替代上來。5、檢測設(shè)備。目前半導體檢測設(shè)備主要被美國科磊半導體、應(yīng)用材料、日立等一些美國和日本企業(yè)占據(jù)，這兩個國家占據(jù)全球半導體檢測設(shè)備市場份額至少達到90%以上。但我國國內(nèi)也有相關(guān)企業(yè)能夠生產(chǎn)出一些中低端的設(shè)備，包括中科飛測，上海精測等企業(yè)都有較強的實力，如果半導體清洗設(shè)備被禁止出口到我國了，國內(nèi)相關(guān)企業(yè)也是能夠替代部分市場的。從整體來說除了光刻機等一些核心設(shè)備之外，其實芯片生產(chǎn)過程當中所使用的大部分設(shè)備我國都能夠生產(chǎn)。只不過跟日本、美國所生產(chǎn)的一些設(shè)備相比，國產(chǎn)設(shè)備在性能、穩(wěn)定性方面可能有一些差距，所以很多芯片這個廠家都更傾向于采購進口設(shè)備，結(jié)果導致目前我國70%以上的半導體設(shè)備都依賴進口。但如果日本等一些國家完全禁止向中國出口這些先進半導體設(shè)備，也并不是說中國完全就束手無策，稍微給國產(chǎn)供應(yīng)鏈一些時間，我相信國產(chǎn)相關(guān)企業(yè)也是能夠替代上來的。至少在14納米以上的芯片工藝當中，很多設(shè)備國內(nèi)都能夠找到相關(guān)的替代方案。另外這次日本禁止向中國出口的主要是一些先進半導體設(shè)備，對一些中低端設(shè)備應(yīng)該是可以正常出口到中國。所以從整體來說，即便日本美國荷蘭禁止向中國出口設(shè)備了，影響也僅僅是14納米以下的先進芯片工藝，對一些中低端芯片工藝影響并不會太大。另外，外部限制向我國出口半導體設(shè)備也未必見的是一件壞事，所以塞翁失馬，焉知非福。在這些進口設(shè)備市場份額減少之后，反而有可能給國內(nèi)企業(yè)更多的市場空間，一旦國內(nèi)供應(yīng)鏈有更多的市場，有更多的利潤了，才能夠有更多的錢去研發(fā)。所以從長期來看，外部限制向我國出口半導體設(shè)備，反而有利于刺激國內(nèi)半導體產(chǎn)鏈的發(fā)展。
