2023年8月10日，在第11屆(2023年)中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)半導(dǎo)體設(shè)備年會(huì)暨產(chǎn)業(yè)鏈合作論壇上，中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)常務(wù)副秘書長(zhǎng)金存忠回顧和展望了中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展。

01

2022年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)經(jīng)濟(jì)運(yùn)行基本情況

面對(duì)新疫情、世界經(jīng)濟(jì)衰退和外部壓力加大的三重沖擊，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的推動(dòng)下，保持了快速發(fā)展的態(tài)勢(shì)。（注：本文中半導(dǎo)體設(shè)備設(shè)備包括、集成電路制造設(shè)備，LED制造設(shè)備，太陽(yáng)能電池片制造設(shè)備，其它半導(dǎo)體器件制造設(shè)備）

根據(jù)中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)對(duì)中國(guó)大陸77家主要半導(dǎo)體設(shè)備制造公司（年銷售收入1000萬(wàn)元以上）的統(tǒng)計(jì)，2022年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備的銷售收入完成了593.0億元，同比增長(zhǎng)53.6%；半導(dǎo)體設(shè)備出口交貨值70.8億元，同比增長(zhǎng)119.2%；總利潤(rùn)達(dá)到149.5億元，同比增長(zhǎng)66.1%。

從2019年到2022年，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備銷售收入從175.1億增長(zhǎng)到593億人民幣，年均增長(zhǎng)率達(dá)到了48.3%。

細(xì)分賽道來(lái)看，集成電路設(shè)備銷售收入2022年達(dá)到319億元，同比增長(zhǎng)86.1%，是所有賽道中增長(zhǎng)速度最快，也是實(shí)現(xiàn)銷售收入最多的市場(chǎng)；同時(shí)集成電路設(shè)備也是出口交貨值最大的賽道。

金存忠介紹到，太陽(yáng)能設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化率已經(jīng)達(dá)到90%，產(chǎn)業(yè)鏈的主要核心設(shè)備都已經(jīng)實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化。如果太陽(yáng)能設(shè)備能夠出口，這一賽道能夠?qū)崿F(xiàn)更快的發(fā)展。tMini LED的關(guān)鍵設(shè)備已經(jīng)解決了（MOCV），但是Micro LED領(lǐng)域的設(shè)備還有待發(fā)展。此外，第三代半導(dǎo)體相關(guān)設(shè)備的市場(chǎng)還處于初步發(fā)展的階段。

整體來(lái)看集成電路設(shè)備銷售收入已經(jīng)占半導(dǎo)體設(shè)備收入的54%，在2021年的時(shí)候，光伏設(shè)備和集成電路設(shè)備銷售收入接近，到了2022年集成電路設(shè)備就超過(guò)了光伏設(shè)備。一方面是集成電路設(shè)備企業(yè)的快速發(fā)展；另一方面原因是由于政策限制，一些國(guó)家不可以購(gòu)買中國(guó)生產(chǎn)的太陽(yáng)能光伏設(shè)備，導(dǎo)致這一市場(chǎng)發(fā)展受限。這再次反映了政策對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的影響。

2019年-2022年各類半導(dǎo)體設(shè)備銷售收入

2022年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備銷售收入前十家單位銷售收入438.4億元，占77家半導(dǎo)體設(shè)備制造商銷售收入總額的73.9%，相比2021年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備前十家單位銷售收入增長(zhǎng)48.4%。2022年半導(dǎo)體設(shè)備銷售收入前十家單位入圍銷售收入為13.6億元，比2021年入圍前十名增長(zhǎng)4.34億元。2022年新進(jìn)入前十名的企業(yè)是拓荊科技股份有限公司和沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司。同時(shí)，金存忠預(yù)測(cè)2023年半導(dǎo)體設(shè)備的入圍銷售收入有望增長(zhǎng)至17億。

2022年國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)占有率保持增長(zhǎng)。根據(jù)SEMI公布的資料顯示，2022年中國(guó)大陸進(jìn)口半導(dǎo)體設(shè)備282.7億美元（含二手設(shè)備），成為全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)。按照銷售額計(jì)算（美元按1：7折算），2022年國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備在中國(guó)大陸的市場(chǎng)占有率為23%，比2021年 (19.6%）增長(zhǎng)3.4個(gè)百分點(diǎn)。

2022年由于國(guó)產(chǎn)設(shè)備市場(chǎng)占有率提高，13類主要半導(dǎo)體設(shè)備中國(guó)大陸進(jìn)口額同比減少8.1%。2022年位于進(jìn)口額前三位的是等離子體干法刻蝕機(jī)、化學(xué)氣相沉積設(shè)備(CVD)、氧化、擴(kuò)散、退火及其它熱處理爐，2022年進(jìn)口額分別減少12.7%、11.9%和9.6%。封裝設(shè)備中引線鍵合機(jī)和塑封壓機(jī)分別減少42%和22%。

根據(jù)海關(guān)數(shù)據(jù)，中國(guó)大陸進(jìn)口設(shè)備中光刻機(jī)排名第四。值得注意的是，根據(jù)這一數(shù)據(jù)中國(guó)上半年進(jìn)口光刻機(jī)臺(tái)數(shù)大概為20臺(tái)，與一部分媒體炒作“第二季度從ASML進(jìn)口27臺(tái)光刻機(jī)”并不相符。可以看到光刻機(jī)、PVD、離子注入機(jī)的進(jìn)口金額仍在增長(zhǎng)，說(shuō)明在這些領(lǐng)域國(guó)產(chǎn)企業(yè)還相對(duì)薄弱。

我國(guó)集成電路晶圓制造設(shè)備進(jìn)入高速發(fā)展階段。伴隨國(guó)內(nèi)集成電路晶圓廠高增速持續(xù)擴(kuò)產(chǎn)，集成電路設(shè)備產(chǎn)業(yè)近年來(lái)迎來(lái)高速發(fā)展階段。集成電路設(shè)備市場(chǎng)高增長(zhǎng)：一是由于中國(guó)大陸集成電路市場(chǎng)優(yōu)勢(shì)明顯;二是國(guó)產(chǎn)等離子干法刻蝕、化學(xué)氣相薄膜沉積、氧化擴(kuò)散退火熱處理、濕法清洗、化學(xué)機(jī)械拋光等關(guān)鍵設(shè)備技術(shù)上不斷突破，覆蓋了更多應(yīng)用；第三是國(guó)產(chǎn)設(shè)備驗(yàn)證穩(wěn)步推進(jìn)，推動(dòng)了國(guó)產(chǎn)設(shè)備產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。

26項(xiàng)半導(dǎo)體設(shè)備創(chuàng)新產(chǎn)品進(jìn)入量產(chǎn)生產(chǎn)線

由于國(guó)外政策對(duì)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的打壓，下游用戶希望用上國(guó)產(chǎn)設(shè)備。這種需求推動(dòng)了國(guó)產(chǎn)設(shè)備在國(guó)內(nèi)產(chǎn)線上的驗(yàn)證。在現(xiàn)在的背景下，即使能買到國(guó)外的設(shè)備，之后的售后也有可能成為一個(gè)問(wèn)題。積塔半導(dǎo)體就是一個(gè)例子，積塔半導(dǎo)體先用5000片的試驗(yàn)線測(cè)試，測(cè)試通過(guò)后就進(jìn)行了12英寸月產(chǎn)5萬(wàn)片的現(xiàn)金投資，這足以反映國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體公司對(duì)國(guó)產(chǎn)設(shè)備的開放態(tài)度。

金存忠還表示，核心部件替代進(jìn)口加快了設(shè)備產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。2022年半導(dǎo)體設(shè)備核心部件機(jī)械手、溫控器、射頻電源、低溫真空泵、干泵等已得到半導(dǎo)體設(shè)備制造商驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代，設(shè)備核心部件國(guó)內(nèi)供應(yīng)鏈正在形成并得到快速發(fā)展。

02

半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)“投資有風(fēng)險(xiǎn)”

金存忠指出當(dāng)前國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備還存在著一些問(wèn)題。

第一，當(dāng)前關(guān)鍵的設(shè)備現(xiàn)在國(guó)產(chǎn)化率還比較低，特別是光刻機(jī)。現(xiàn)在的光刻機(jī)在量產(chǎn)上沒有得到驗(yàn)證，目前國(guó)產(chǎn)制造商能夠制造的是先進(jìn)封裝和LED領(lǐng)域的光刻機(jī)。光刻機(jī)的難點(diǎn)不僅在制造出來(lái)，還要保證設(shè)備的效率和良率。只有99.9%以上的良率，才有可能保證98%的成品率；如果99%的良率，可能導(dǎo)致成品率只有八成。

有一些設(shè)備還是市場(chǎng)占有率比較低，可能低于5%。以量測(cè)設(shè)備為例，雖然有很多公司在做，但是量很少，在整個(gè)市場(chǎng)的占比也很小。國(guó)產(chǎn)CVD在這兩年發(fā)展很快，特別是拓荊，但是整體數(shù)量還是較少。

第二，集成電路關(guān)鍵設(shè)備進(jìn)口零部件占比較大。目前集成電路晶圓制造關(guān)鍵設(shè)備進(jìn)口零部件金額約占到設(shè)備價(jià)格的40%左右，占比較大，影響了國(guó)產(chǎn)設(shè)備在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。目前這些零部件國(guó)內(nèi)制造商大多已有安排，有的已進(jìn)入驗(yàn)證和小批量試用階段。

雖然國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備零部件企業(yè)已經(jīng)解決了一些高端產(chǎn)品，但仍有一些產(chǎn)品需要進(jìn)口。例如，高精密的流量計(jì)、靜電卡盤、真空閥門等。這些產(chǎn)品的價(jià)值很高，進(jìn)口的量占的很比重很大。據(jù)金存忠介紹，國(guó)內(nèi)一家半導(dǎo)體的設(shè)備的龍頭企業(yè)，去年它進(jìn)口的零部件占到整個(gè)設(shè)備的金額的40%，有的國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備公司的零部件進(jìn)口額可能達(dá)到60%。這樣的數(shù)字意味著，一旦半導(dǎo)體設(shè)備零部件面臨管制，會(huì)有很大問(wèn)題。

03

展望國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的2023

對(duì)于國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的2023年，金存忠給出了三點(diǎn)展望。

第一，2023年國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備銷售有望繼續(xù)保持增長(zhǎng)。增長(zhǎng)的動(dòng)力包括：1.集成電路設(shè)備出口管制給國(guó)產(chǎn)集成電路設(shè)備帶來(lái)發(fā)展機(jī)遇，國(guó)內(nèi)投資的集成電路晶圓制造廠為保證自身供應(yīng)鏈安全，加快了國(guó)產(chǎn)設(shè)備驗(yàn)證和采購(gòu)的步伐；2. ?國(guó)內(nèi)成熟工藝晶圓集成電路、先進(jìn)封裝集成電路、高效太陽(yáng)能電池、mini LED和化合物半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池市場(chǎng)持續(xù)發(fā)展，推動(dòng)了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的市場(chǎng)；3. 一大批自主研發(fā)的關(guān)鍵半導(dǎo)體設(shè)備和核心部件進(jìn)入量產(chǎn)生產(chǎn)線，替代進(jìn)口，提高了國(guó)產(chǎn)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。

第二，2023年中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口繼續(xù)減少。根據(jù)海關(guān)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，2023年1-6月中國(guó)大陸13類主要半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口額為72.94億美元，同比比減少13.3%。其中除分步重復(fù)光刻機(jī)、集成電路工廠專用自動(dòng)搬運(yùn)機(jī)器人、研磨機(jī)和切割設(shè)備外，其它設(shè)備全部負(fù)增長(zhǎng)，等離子體干法刻蝕機(jī)上半年進(jìn)口額同比減少29.6%。預(yù)計(jì)2023年中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口額將繼續(xù)減少。

第三，主要半導(dǎo)體設(shè)備制造商訂單穩(wěn)步增長(zhǎng)。預(yù)計(jì)2023年國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備銷售收入增長(zhǎng)38%左右，達(dá)到817億元。其中：集成電路設(shè)備預(yù)計(jì)增長(zhǎng)40%，達(dá)到450億元；太陽(yáng)能電池片設(shè)備預(yù)計(jì)增長(zhǎng)35%，達(dá)到310億元；LED設(shè)備預(yù)計(jì)增長(zhǎng)20%，達(dá)到37億元；分立和其它半導(dǎo)體器件預(yù)計(jì)增長(zhǎng)33%，達(dá)到20億元。

主要半導(dǎo)體設(shè)備制造商訂單穩(wěn)步增長(zhǎng)