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在日前舉辦的半導體設備年會同期高峰論壇演講中，中微半導體設備(上海）股份有限公司董事長兼總經理尹志堯博士引述數(shù)據(jù)表示，統(tǒng)計國內的半導體設備市場，來自美國、荷蘭和日本這三個國家提供的設備就占了大約85%，這足以體現(xiàn)國產設備的差距。更有甚者，美國在過去一年里還聯(lián)合荷蘭和日本，限制向中國供應半導體設備。于是，發(fā)展半導體集成電路和零部件產業(yè)就成為了中國半導體產業(yè)當前的重點。筆者熟悉的一位投資人更是在坦言，和早兩年相比，當前半導體的投融資環(huán)境其實是相對低潮的，但這并沒有阻止他們投資半導體設備和零部件的熱情。歸根到底，這與中國半導體設備的發(fā)展現(xiàn)狀有著莫大的關系。半導體設備，重中之重大家都承認，在芯片制造過程中，設備是最不可或缺的一環(huán)，但也許大家并不知道半導體設備的重要體現(xiàn)在哪些方面。按照尹志堯博士在演講中所說，現(xiàn)在一條大規(guī)模的12英寸生產線需要投入100億美金，當中70%是用于購買設備。這就意味著從成本來看，半導體設備就值得格外重視。尤其是在這個市場還是被海外廠商把持的時候，發(fā)展我國的半導體設備產業(yè)就顯得更為重要。“十大類、170多種、3000多臺細分設備，就可以構成生產線?！币緢蚪又f。華大半導體總工、上海積塔的李晉湘博士在演講中指出，根據(jù)功能的不同，集成電路的制造設備可以分為圖形生成設備、增材設備、減材設備、材料改性設備和量測設備這五大類。其中，圖形生成設備、增材設備和減材設備用于制造結構，材料改性設備用于離子注入，量測設備用于工藝控制。
具體而言，根據(jù)李晉湘的觀點，圖形生成設備主要是光刻機；增材設備則涵蓋了薄膜生長和熱氧生長設備；減材設備包括了刻蝕、清洗、CPM和化學機器拋光等設備；至于材料改性設備則是離子注入機（大束流、中束流、高能和高溫等）；量測設備則顧名思義，包括了用于計量和測試的設備，其目的就是用于保證晶圓生產的良率。正因為設備種類如此之多，考慮到當前的國際環(huán)境，發(fā)展本土半導體設備就變得更迫切。“雖然我們不能一蹴而就，也不能全產業(yè)鏈實現(xiàn)各個擊破，尤其是如果要在短期內實現(xiàn)這個目標，則挑戰(zhàn)更大”，半導體行業(yè)從業(yè)者告訴筆者。但正如他所說，我們必須投入百分之兩百的精力，因為我們已經退無可退。不過，在行業(yè)人士看來，雖然挑戰(zhàn)重重，我們也無需過度悲觀。尹志堯博士更是在演講中直言，除了光刻機以外，美國首發(fā)了大多數(shù)的半導體設備，但這些設備大多是在中國留學生的推動下完成的?，F(xiàn)在，這些領軍人物大部分也都已經回國。假以數(shù)年，我們一定會開發(fā)出有國際競爭力的設備產業(yè)。增長迅速，瓶頸明顯中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會理事長、北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司董事長趙晉榮先生在高峰論壇致辭中也指出，在過去十幾年里，中國本土設備業(yè)更是取得了突破性的進步。據(jù)介紹，目前我國半導體設備及零部件企業(yè)的數(shù)量已經超過200家。而根據(jù)中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會對國內77家規(guī)模以上半導體設備制造商統(tǒng)計，2022年，本土半導體設備銷售收入累計完成593億元，較2021年的386億元增長了53.6%。其中，前十家國產半導體設備制造商更是完成銷售收入438億元，占77家合計收入73.9%。在筆者看來，這些數(shù)據(jù)足以凸顯國產集成電路設備的進步。“近年來，多家（本土）龍頭骨干裝備企業(yè)在刻蝕、薄膜、清洗、注入、CMP及封裝測試等關鍵設備方面取得了突破，并進一步向系列化、多品類平臺型企業(yè)轉型，取得可喜的成績?！壁w晉榮總結說。他進一步指出，過去幾年，國內從事材料零部件的龍頭企業(yè)也呈現(xiàn)出快速增長的趨勢，在射頻電源、流量計、機械手、真空泵、重點檢測及精密加工精密陶瓷、精密石英、高純石墨、高純板材、特種不銹鋼及精細化工材料等方面也都取得了突破性的進展。然而，正如李晉湘博士在演講中所說，國產設備在進入大產線的時候還要面臨多方面的瓶頸。以大家都非常熟悉的光刻機為例，李晉湘博士認為，國內企業(yè)在這方面還有很長的路要走。至于增材設備、減材設備、材料改性設備和量測設備，也同樣或多或少還存在差距。在李晉湘博士看來，國內半導體設備主要面臨三個方面的挑戰(zhàn)：一是因為有的設備無法提供，所以不能形成一個體系；二是所有設備有了，但不能滿足特殊工藝的要求；三是設備和工藝都可以提供，但在關鍵工藝方面還不穩(wěn)定，不可靠。“這些都是我們面臨的瓶頸，如果能解決這些問題，（基于本土設備打造的）大生產線就可以使用了。也只有讓大生產線采用，設備企業(yè)創(chuàng)造的價值才會更大?！崩顣x湘博士總結說。而在尹志堯博士看來，過度內卷是國內半導體設備產業(yè)目前發(fā)展不容忽視的問題。避免內卷，合作共贏“我認為高科技領域的競爭是一個正?，F(xiàn)象，是推動科技發(fā)展的動力，所以我們一定要有競爭，但這種競爭必須是公平競爭，是合理的競爭，是有序的競爭。惡性的競爭就是內卷，這種內卷是產業(yè)發(fā)展的絆腳石?！币緢虿┦勘硎尽榇怂舐暭埠簦骸鞍雽w設備廠商應該合起來干，合起來干不等于不競爭，競爭過程也要有章法?！?/p>
“面對當前復雜多變的國際形勢，中國產業(yè)界必須堅定信心，勇于創(chuàng)新，只有形成合作共贏的格局，才能共同開創(chuàng)中國半導體行業(yè)的美好未來?！壁w晉榮說。李晉湘也認同這種觀點，他指出，國產設備有了長足的進步，但還需要設備和芯片制造企業(yè)要進一步加強合作，共同努力。他同時呼吁，半導體設備廠家一定要跟芯片廠商真心實意地深度合作，因為工藝是要不斷進步的，也要求設備不斷地更新。而深度的合作則更能推進這個流程。李晉湘還指出，有些半導體設備量少難度大，導致國內設備廠家不太愿意進入這個領域，這從經濟上考量，也是有其道理所在。但李晉湘強調，競爭對手現(xiàn)在賣設備是打包出售，具體做法是把量少難度大和量大簡單的設備綁在一起，這對我們國家設備產業(yè)是極大的威脅。“如果你不去解決這些問題，那你量大容易做的設備也會被別人擠掉?！崩顣x湘直言。為此他建議半導體設備廠商，為了量大的設備，即使有難度大且量小的設備，但也必須去做。此外，按照李晉湘的觀點，國內半導體設備供應商還應該加強設備的軟件開發(fā)能力、建立工藝研發(fā)實驗室、建立系統(tǒng)的培訓教材、加大核心部件研發(fā)，并加強售后服務能力提升。毋庸置疑的是，國內半導體設備的差距還是非常大的。很多關鍵環(huán)節(jié)短期還是沒有“國產替代”解決方案。但從上述這些行業(yè)專家的理智發(fā)言中我們能看到了一絲曙光。
具體而言，根據(jù)李晉湘的觀點，圖形生成設備主要是光刻機；增材設備則涵蓋了薄膜生長和熱氧生長設備；減材設備包括了刻蝕、清洗、CPM和化學機器拋光等設備；至于材料改性設備則是離子注入機（大束流、中束流、高能和高溫等）；量測設備則顧名思義，包括了用于計量和測試的設備，其目的就是用于保證晶圓生產的良率。正因為設備種類如此之多，考慮到當前的國際環(huán)境，發(fā)展本土半導體設備就變得更迫切。“雖然我們不能一蹴而就，也不能全產業(yè)鏈實現(xiàn)各個擊破，尤其是如果要在短期內實現(xiàn)這個目標，則挑戰(zhàn)更大”，半導體行業(yè)從業(yè)者告訴筆者。但正如他所說，我們必須投入百分之兩百的精力，因為我們已經退無可退。不過，在行業(yè)人士看來，雖然挑戰(zhàn)重重，我們也無需過度悲觀。尹志堯博士更是在演講中直言，除了光刻機以外，美國首發(fā)了大多數(shù)的半導體設備，但這些設備大多是在中國留學生的推動下完成的?，F(xiàn)在，這些領軍人物大部分也都已經回國。假以數(shù)年，我們一定會開發(fā)出有國際競爭力的設備產業(yè)。增長迅速，瓶頸明顯中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會理事長、北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司董事長趙晉榮先生在高峰論壇致辭中也指出，在過去十幾年里，中國本土設備業(yè)更是取得了突破性的進步。據(jù)介紹，目前我國半導體設備及零部件企業(yè)的數(shù)量已經超過200家。而根據(jù)中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會對國內77家規(guī)模以上半導體設備制造商統(tǒng)計，2022年，本土半導體設備銷售收入累計完成593億元，較2021年的386億元增長了53.6%。其中，前十家國產半導體設備制造商更是完成銷售收入438億元，占77家合計收入73.9%。在筆者看來，這些數(shù)據(jù)足以凸顯國產集成電路設備的進步。“近年來，多家（本土）龍頭骨干裝備企業(yè)在刻蝕、薄膜、清洗、注入、CMP及封裝測試等關鍵設備方面取得了突破，并進一步向系列化、多品類平臺型企業(yè)轉型，取得可喜的成績?！壁w晉榮總結說。他進一步指出，過去幾年，國內從事材料零部件的龍頭企業(yè)也呈現(xiàn)出快速增長的趨勢，在射頻電源、流量計、機械手、真空泵、重點檢測及精密加工精密陶瓷、精密石英、高純石墨、高純板材、特種不銹鋼及精細化工材料等方面也都取得了突破性的進展。然而，正如李晉湘博士在演講中所說，國產設備在進入大產線的時候還要面臨多方面的瓶頸。以大家都非常熟悉的光刻機為例，李晉湘博士認為，國內企業(yè)在這方面還有很長的路要走。至于增材設備、減材設備、材料改性設備和量測設備，也同樣或多或少還存在差距。在李晉湘博士看來，國內半導體設備主要面臨三個方面的挑戰(zhàn)：一是因為有的設備無法提供，所以不能形成一個體系；二是所有設備有了，但不能滿足特殊工藝的要求；三是設備和工藝都可以提供，但在關鍵工藝方面還不穩(wěn)定，不可靠。“這些都是我們面臨的瓶頸，如果能解決這些問題，（基于本土設備打造的）大生產線就可以使用了。也只有讓大生產線采用，設備企業(yè)創(chuàng)造的價值才會更大?！崩顣x湘博士總結說。而在尹志堯博士看來，過度內卷是國內半導體設備產業(yè)目前發(fā)展不容忽視的問題。避免內卷，合作共贏“我認為高科技領域的競爭是一個正?，F(xiàn)象，是推動科技發(fā)展的動力，所以我們一定要有競爭，但這種競爭必須是公平競爭，是合理的競爭，是有序的競爭。惡性的競爭就是內卷，這種內卷是產業(yè)發(fā)展的絆腳石?！币緢虿┦勘硎尽榇怂舐暭埠簦骸鞍雽w設備廠商應該合起來干，合起來干不等于不競爭，競爭過程也要有章法?！?/p>“面對當前復雜多變的國際形勢，中國產業(yè)界必須堅定信心，勇于創(chuàng)新，只有形成合作共贏的格局，才能共同開創(chuàng)中國半導體行業(yè)的美好未來?！壁w晉榮說。李晉湘也認同這種觀點，他指出，國產設備有了長足的進步，但還需要設備和芯片制造企業(yè)要進一步加強合作，共同努力。他同時呼吁，半導體設備廠家一定要跟芯片廠商真心實意地深度合作，因為工藝是要不斷進步的，也要求設備不斷地更新。而深度的合作則更能推進這個流程。李晉湘還指出，有些半導體設備量少難度大，導致國內設備廠家不太愿意進入這個領域，這從經濟上考量，也是有其道理所在。但李晉湘強調，競爭對手現(xiàn)在賣設備是打包出售，具體做法是把量少難度大和量大簡單的設備綁在一起，這對我們國家設備產業(yè)是極大的威脅。“如果你不去解決這些問題，那你量大容易做的設備也會被別人擠掉?！崩顣x湘直言。為此他建議半導體設備廠商，為了量大的設備，即使有難度大且量小的設備，但也必須去做。此外，按照李晉湘的觀點，國內半導體設備供應商還應該加強設備的軟件開發(fā)能力、建立工藝研發(fā)實驗室、建立系統(tǒng)的培訓教材、加大核心部件研發(fā)，并加強售后服務能力提升。毋庸置疑的是，國內半導體設備的差距還是非常大的。很多關鍵環(huán)節(jié)短期還是沒有“國產替代”解決方案。但從上述這些行業(yè)專家的理智發(fā)言中我們能看到了一絲曙光。
