上周，在一場(chǎng)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)活動(dòng)上，上海積塔半導(dǎo)體的總工程師李晉湘說，國(guó)產(chǎn)設(shè)備經(jīng)過多年努力，目前看似除了光刻機(jī)，剩下都可以做，但實(shí)際上一款設(shè)備從研發(fā)完成到可以在芯片生產(chǎn)線上大規(guī)模投入使用、保證芯片制造的良率，還有很長(zhǎng)的路要走。

積塔是一家國(guó)內(nèi)知名特色工藝晶圓廠，中芯國(guó)際創(chuàng)始人張汝京目前擔(dān)任其執(zhí)行董事。李晉湘自己早年曾從事半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)和制造，后來又投身晶圓廠負(fù)責(zé)芯片生產(chǎn)，對(duì)于設(shè)備在生產(chǎn)中的實(shí)際應(yīng)用頗有發(fā)言權(quán)，他在當(dāng)天演講中坦率地指出國(guó)產(chǎn)設(shè)備目前存在的一些短板，比如：

- 目前在芯片大產(chǎn)線上，還沒有一臺(tái)國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)投入使用，大部分仍在科研階段。至于網(wǎng)上討論的已經(jīng)量產(chǎn)的國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)，都屬于后端封裝，而不是前端制造。

- 良率是晶圓廠的生命線。如果良率不達(dá)標(biāo)，企業(yè)生產(chǎn)的越多、虧損就越多，就無法生存。相應(yīng)的，國(guó)產(chǎn)設(shè)備在效率、穩(wěn)定性和滿足特色工藝需求等方面都需要盡快彌補(bǔ)差距。比如晶圓廠從海外廠商買來價(jià)格上十億元的光刻機(jī)，速度非常快，但其他環(huán)節(jié)的國(guó)產(chǎn)設(shè)備如果跟不上，就會(huì)造成極大的浪費(fèi)。

- 對(duì)于一些量少而難度大的設(shè)備，很多國(guó)內(nèi)設(shè)備商出于經(jīng)濟(jì)效益考量，不愿意做。但現(xiàn)在海外競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手已經(jīng)拿出 “打包” 出售的策略，想要買到那些技術(shù)難度大的小眾設(shè)備，就必須捆綁購買 “量大簡(jiǎn)單” 的設(shè)備，如此一來即使國(guó)內(nèi)晶圓廠想用國(guó)產(chǎn)設(shè)備，也沒得選。

- 系統(tǒng)培訓(xùn)教材的缺乏。ASML 的光刻機(jī)培訓(xùn)教材，光是線上的培訓(xùn)視頻就接近 500 個(gè)小時(shí)，從基礎(chǔ)原理講到如何使用，而國(guó)內(nèi)很多設(shè)備說明書過于簡(jiǎn)單，如果沒有大量工程師掌握和使用，很難打開市場(chǎng)。

雖然在現(xiàn)場(chǎng)提了很多尖銳的問題，李晉湘結(jié)束發(fā)言回到座位上后，立馬被數(shù)十個(gè)希望加聯(lián)系方式的觀眾團(tuán)團(tuán)圍住。由于嘉賓席位在會(huì)場(chǎng)的正前方中間位置，一擁而上的人群一度影響了論壇的正常進(jìn)行，無奈之下，李晉湘的私人助理一邊高舉展示微信二維碼的手機(jī)，一邊將眾人引至?xí)?chǎng)一側(cè)的角落，才解了圍。

對(duì)于設(shè)備商們來講，獲得國(guó)內(nèi)一家主流晶圓廠總工程師的認(rèn)可無疑會(huì)增加贏得訂單的幾率，而對(duì)于投資人來說，判斷具體某家設(shè)備公司的產(chǎn)品 “行還是不行”，晶圓大廠的技術(shù)負(fù)責(zé)人顯然是再合適不過的咨詢對(duì)象。李晉湘的助理后來向《晚點(diǎn)財(cái)經(jīng)》透露，當(dāng)天眾多的好友申請(qǐng)記錄里，設(shè)備商和投資人差不多各占了一半。

李晉湘出席的這場(chǎng)活動(dòng)全稱叫中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備年會(huì)，由中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)主辦，每年一次，以往大多從國(guó)內(nèi)某地挑一家星級(jí)酒店，業(yè)內(nèi)大佬們齊聚一堂，做些技術(shù)和行業(yè)趨勢(shì)的研討交流。從去年的第十屆開始，在論壇之外新增了展覽環(huán)節(jié)，辦會(huì)定點(diǎn)也開始固定設(shè)置在無錫太湖國(guó)際博覽中心。

由于不再受疫情影響，今年展會(huì)的熱度明顯比去年更高。展會(huì)入口處的共享充電寶柜機(jī)幾乎一直處于 “借空” 的狀態(tài)；主辦方安排就餐的自助餐廳從服務(wù)員到菜品再到座位都明顯 “供應(yīng)不足”；有的參展商按照之前參與更大規(guī)模活動(dòng)的經(jīng)驗(yàn)準(zhǔn)備產(chǎn)品手冊(cè)數(shù)量，但僅一天就被領(lǐng)完；年會(huì)的主論壇現(xiàn)場(chǎng)布置了超過 1000 個(gè)座位，依然座無虛席，不少觀眾只能站在會(huì)場(chǎng)兩側(cè)和最后的通道；一位參會(huì)的機(jī)構(gòu)投資人表示，在半導(dǎo)體行業(yè)周期下行的大背景下，目前只看設(shè)備和零部件這一個(gè)領(lǐng)域。

按照主辦方披露的數(shù)據(jù)，今年共有 389 家企業(yè)參展，展示面積超過 2.8 萬平米，分別是去年的 2.7 倍和 3.5 倍，活動(dòng)期間現(xiàn)場(chǎng)達(dá)成的意向成交額至少有 26.5 億元。一位前來招商的某產(chǎn)業(yè)園區(qū)工作人員告訴《晚點(diǎn)財(cái)經(jīng)》，即使之前已經(jīng)考慮到去年疫情影響導(dǎo)致人流量較少，今年咨詢和有遷址意向的廠商數(shù)量依然大超預(yù)期。

活動(dòng)規(guī)模的變化直觀反映出行業(yè)的熱度和關(guān)注度與日俱增，而這一切根源都來自半導(dǎo)體設(shè)備本身過于重要，而中國(guó)廠商在該領(lǐng)域的短板又過于明顯。

中微公司董事長(zhǎng)尹志堯在同場(chǎng)論壇的演講中表示，從 2019 年至今，美國(guó)政府已經(jīng)出臺(tái)了 16 條用于限制中國(guó)集成電路發(fā)展的措施，幾乎每一條都是在拿設(shè)備做文章，意圖讓中國(guó)大陸的芯片制程至少落后海外 5 代差距。而之所以這么做，是因?yàn)閿?shù)碼產(chǎn)業(yè)的倒金字塔結(jié)構(gòu)，由產(chǎn)值規(guī)模最小的半導(dǎo)體設(shè)備（以及零部件、材料）作為最底部、最重要的支撐。

雖然中國(guó)已經(jīng)是全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)，但還沒有一家國(guó)產(chǎn)設(shè)備公司營(yíng)收可以排進(jìn)全球前十五。整個(gè)芯片產(chǎn)業(yè)鏈的各個(gè)環(huán)節(jié)中，中國(guó)大陸在芯片設(shè)計(jì)、晶圓代工和封裝測(cè)試環(huán)節(jié)占全球產(chǎn)值比重分別可以達(dá)到 20%、10% 和 30%，但設(shè)備和耗材的產(chǎn)值占比還不到 5%。而美國(guó)和其拉攏的日本、荷蘭加在一起，至今仍占據(jù)國(guó)內(nèi) 85% 的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)。（邱豪）