隨著半導(dǎo)體市場(chǎng)的增長(zhǎng)，純度和精度的標(biāo)準(zhǔn)變得越來(lái)越嚴(yán)格。半導(dǎo)體制造質(zhì)量的決定因素之一是工藝中使用的氣體。這些氣體在制造過(guò)程中發(fā)揮著許多作用，包括：

精密過(guò)程控制

污染預(yù)防

冶金性能增強(qiáng)

為了有效地發(fā)揮這些作用，天然氣供應(yīng)和分配系統(tǒng)必須高效。半導(dǎo)體制造中使用的氣體處理系統(tǒng)的設(shè)計(jì)必須得到堅(jiān)固的組件和定制組件的支持，以保證半導(dǎo)體的可靠和高質(zhì)量生產(chǎn)。

半導(dǎo)體制造中使用的氣體

制造半導(dǎo)體的過(guò)程需要在不同階段使用不同的氣體，

雖然氮?dú)?、氫氣、氬氣和氦氣等常?jiàn)氣體可以以其純凈形式使用，但某些工藝可能需要專(zhuān)門(mén)的混合物。硅烷或硅氧烷、六氟化物、鹵化物和碳?xì)浠衔锸前雽?dǎo)體制造中使用的幾種特種氣體。在這些氣體中，許多氣體可能是危險(xiǎn)的或高反應(yīng)性的，這給氣體系統(tǒng)的組件選擇和設(shè)計(jì)帶來(lái)了挑戰(zhàn)。

這里有一些例子：

由于原子尺寸和重量較小，氫氣和氦氣很容易從管道和配件系統(tǒng)中泄漏。

硅烷高度易燃，在空氣中可自燃（自燃）。

在沉積、蝕刻和腔室清潔階段使用的二氟化氮在泄漏到環(huán)境中時(shí)會(huì)成為一種有效的溫室氣體。

氟化氫（蝕刻氣體）對(duì)金屬管道具有很強(qiáng)的腐蝕性。

三甲基鎵和氨可能很難處理——它們的溫度和壓力要求的微小波動(dòng)都會(huì)影響沉積過(guò)程。

在系統(tǒng)設(shè)計(jì)過(guò)程中，控制工藝條件以盡量減少這些氣體的負(fù)面影響必須是首要任務(wù)。在構(gòu)建過(guò)程中，使用AFK隔膜閥等最高質(zhì)量的組件也同樣重要。

應(yīng)對(duì)系統(tǒng)設(shè)計(jì)挑戰(zhàn)

半導(dǎo)體級(jí)氣體在大多數(shù)情況下都是高純度的，并在制造過(guò)程的不同階段（例如蝕刻和沉積氣體）提供惰性條件或增強(qiáng)反應(yīng)。此類(lèi)氣體的泄漏或污染可能會(huì)產(chǎn)生負(fù)面影響。因此，對(duì)于所使用的系統(tǒng)組件來(lái)說(shuō)，具有密封性和耐腐蝕性以及光滑的表面處理（電解拋光）至關(guān)重要，以確保不存在污染的可能性，并且可以保持極高的清潔度。

此外，這些氣體中的一些可以被加熱或冷卻以達(dá)到期望的工藝條件。絕緣良好的組件可以確保溫度控制，這對(duì)于最終產(chǎn)品的高效性能至關(guān)重要。

從源入口到使用點(diǎn)，AFK的各種組件支持半導(dǎo)體潔凈室和真空室所需的超高純度、溫度、壓力和流量控制。

半導(dǎo)體工廠中采用優(yōu)質(zhì)組件的設(shè)計(jì)系統(tǒng)

優(yōu)質(zhì)元件和設(shè)計(jì)優(yōu)化的作用對(duì)于半導(dǎo)體的精確控制和安全制造至關(guān)重要。使用的組件需要堅(jiān)固且無(wú)泄漏，以符合不同制造階段所需的不同工藝條件。AFK的高品質(zhì)閥門(mén)、接頭、調(diào)壓閥、管道和密封支架具有以下特點(diǎn)：

超高純度

無(wú)泄漏密封

溫控保溫

壓力控制

耐腐蝕性能

電解拋光處理