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璞璘科技獲數千萬天使輪融資,峰瑞資本獨家投資

來源:投資界訊 305310/09

投資界(ID:pedaily2012)10月9日消息,璞璘科技(杭州)有限公司(以下簡稱“璞璘科技”)近日完成數千萬元天使輪融資,由峰瑞資本獨家投資;本輪融資主要用于補充團隊人員,完善量產型納米壓印設備研發(fā)、納米壓印材料產線搭建。納米壓印技

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投資界(ID:pedaily2012)10月9日消息,璞璘科技(杭州)有限公司(以下簡稱“璞璘科技”)近日完成數千萬元天使輪融資,由峰瑞資本獨家投資;本輪融資主要用于補充團隊人員,完善量產型納米壓印設備研發(fā)、納米壓印材料產線搭建。

納米壓印技術出現于1995年,當時DUV光刻遭遇100nm分辨率的技術瓶頸,為突破這一瓶頸,美國工程院院士、華裔科學家周郁(Stephen Y. Chou)教授首次提出了基于高分子模壓工藝的全新超高分辨率(<10nm)的納米結構制造技術——納米壓印技術。

璞璘科技成立于2017年,主要生產和研發(fā)納米壓印設備及材料。公司創(chuàng)始人、首席科學家葛海雄教授,師從納米壓印技術發(fā)明人—周郁院士,從事納米壓印技術的研究工作超過二十多年,發(fā)展了旋膠涂膜紫外光固化納米壓印工藝與材料體系。

與光刻技術相比,納米壓印具備工藝相對簡單、低成本、超高分辨率、3D復雜納米結構制造、功能性材料直接成型、無需顯影等技術優(yōu)勢。

納米壓印仍處于不斷發(fā)展中,近幾年,日本佳能集團發(fā)展了可量產集成電路芯片的步進納米壓印技術,已經成功將納米壓印技術成功應用在15nm制程的3D NAND儲存芯片,并由其子公司“鎧俠科技”完成相關產品的研發(fā)與中試。此外,SK海力士計劃從佳能引進納米壓印設備,在2025年左右使用該設備開始量產3D NAND閃存。

芯片制造及未來的量子芯片會是納米壓印的核心應用場景。除此之外,納米壓印技術還可以用于微納結構光學、AR/VR、藍寶石圖案化襯底、生物芯片、超透鏡、光子芯片等領域。

璞璘科技技術團隊形成了完整的納米壓印技術體系,且與合作伙伴實現了8nm周期、4nm線寬的超高分辨率壓印,這證明納米壓印技術的分辨率可以勝任未來集成電路制造中對更小線寬的需求。

璞璘科技自主研發(fā)了納米壓印核心技術,希望推進納米壓印技術的產業(yè)化應用,可以針對不同應用領域、場景與需求,璞璘科技可為用戶提供量身定制的高針性納米壓印產品與技術服務。據璞璘科技創(chuàng)始人兼CEO鄧萌萌介紹,璞璘科技是目前國內市場唯一能集納米壓印設備、材料,工藝為一體的納米壓印高端微納制造供應商。

納米壓印閉環(huán)解決方案

在設備方面,璞璘科技有針對不同場景的納米壓印設備,科研桌面型,半自動研發(fā)型,全自動量產型、以及壓印配套設備。

晶圓半導體納米壓印系統

在材料上,璞璘科技擁有完整的納米壓印膠體系,包括半導體刻蝕材料、光學應用材料、結構傳遞材料、表面處理材料、模具復制材料等近三十多種納米壓印相關材料;

全系納米壓印材料

工藝上,除傳統的熱壓印和紫外光固化壓印工藝外,璞璘還擁有復合高分子模板復制技術、無殘余層納米壓印技術、曲面納米壓印技術、雙轉移層納米壓印技術、雙腔室納米壓印技術等多項自主研發(fā)的核心納米壓印工藝。

無殘余層納米壓印技術

璞璘科技創(chuàng)始人兼CEO鄧萌萌表示,公司相關業(yè)務板塊已經與國內眾多國內半導體、光學、顯示、AR/VR等行業(yè)頭部企業(yè)合作,提供相關的技術解決方案。此外,璞璘研發(fā)團隊正在積極將璞璘科技特色的納米壓印技術導入半導體制造,LED芯片、光學芯片等高端制造行業(yè)。

納米壓印技術在全球仍處于一個朝著量產做嘗試的階段,如設備的良率、壓印均勻性等問題尚未得到有效解決。

璞璘科技首席科學家葛海雄教授表示,目前業(yè)內對納米壓印技術的了解并不充分,部分海外納米壓印技術企業(yè)更多是在產業(yè)化應用上進度較快,從技術本身的上并非選擇了最佳技術路線,一些關鍵技術存在先天的缺陷。國內企業(yè)若僅從快速產業(yè)化應用的角度模仿,很可能導致納米壓印技術的應用誤入歧途,且即使在研發(fā)過程中已經發(fā)現眾多的工藝難點問題,也缺乏專業(yè)的解決能力。

在葛海雄教授看來,納米壓印技術需要上游的技術供應端、下游的應用端共同不斷積累、打磨,合作,最終發(fā)展出成熟的納米壓印產業(yè)鏈,沒有彎道超車。

目前,公司技術研發(fā)團隊中有納米壓印技術行業(yè)經驗的博士超過10人,技術人員來自美國普林頓大學、南京大學、中國科學技術大學、北京大學等,在納米壓印設備制造、材料工藝開發(fā)、產業(yè)應用等方面具有豐富行業(yè)經驗;同時,團隊正在加速擴充,引入包括半導體機械研發(fā)、設計,電氣軟件、設備制造、化工生產等行業(yè)精英。目前公司團隊規(guī)模20余人,研發(fā)及工程相關技術人員占比超90%。

峰瑞資本副總裁顏黔杭表示:“納米壓印作為基于物理成型方法實現納米尺度圖案轉移的微納加工技術,自1995年被發(fā)明以來,學界與業(yè)界一直嘗試將其應用在IC領域和其他微納加工領域,并實現規(guī)?;涞?。近年來,納米壓印在微納光學器件及生物芯片中的規(guī)模化應用,為這項前沿技術的快速市場化打下了基礎。而在海外,佳能在納米壓印方向持之以恒的研發(fā)投入,實現了其在閃存芯片工業(yè)化生產中的應用,替代了傳統光刻工藝,展現了納米壓印在IC領域作為光刻技術備選方案的廣闊前景。璞璘科技的核心創(chuàng)始團隊不僅具備國內乃至世界頂級的納米壓印技術認知,并擁有設備、膠材、工藝一體化的全流程研發(fā)量產能力。峰瑞一直看好微觀尺度下觀測、加工、控制技術的前沿發(fā)展與應用落地,我們相信璞璘能夠在核心團隊的不懈堅持下,將更高質量、更高效率、更低成本的納米壓印規(guī)?;慨a解決方案帶給行業(yè)。“

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