集微網(wǎng)消息，3M公司近日宣布將徹底退出被稱為“永久化學(xué)品”的全氟及多氟烷基物質(zhì)（PFAS）的生產(chǎn)，并努力在2025年底前在其產(chǎn)品組合中完全停止使用PFAS，因為有關(guān)這些化學(xué)品會對健康和環(huán)境造成影響。在半導(dǎo)體制造中，所需的冷卻劑也屬于PFAS產(chǎn)品，而3M則是全球半導(dǎo)體冷卻劑的最大供應(yīng)商，此舉或?qū)榘雽?dǎo)體制造業(yè)帶來較大影響。

3M首席執(zhí)行官邁克?羅曼（Mike Roman）表示，這一決定受到了兩方面因素的影響：一是對這種化學(xué)物質(zhì)的監(jiān)管日益加強，二是市場對替代選擇的需求正不斷增長。

在半導(dǎo)體制造過程中，所需的冷卻劑（電子級氟化液）也屬于PFAS產(chǎn)品，它被廣泛用于半導(dǎo)體蝕刻設(shè)備、離子注入設(shè)備、化學(xué)氣相沉積（CVD）設(shè)備的恒溫冷卻。雖然半導(dǎo)體制造業(yè)對于半導(dǎo)體冷卻劑的消耗量并不算高（冷卻劑雖可以循環(huán)使用，但會一點一點地泄漏），但隨著半導(dǎo)體制造產(chǎn)能的持續(xù)增長，對于半導(dǎo)體冷卻劑需求將持續(xù)增加。3M在全球半導(dǎo)體冷卻劑市場也一直居于壟斷地位，其宣布到2025年底，將停止生產(chǎn)所有含氟聚合物、含氟液體和基于PFAS的添加劑產(chǎn)品，并將在2025年底前停止在其所有產(chǎn)品中使用PFAS，這或?qū)榘雽?dǎo)體制造行業(yè)帶來沖擊。

據(jù)悉，全氟烷基和多氟烷基物質(zhì)（PFAS）通常被俗稱為“永久化學(xué)品”，因為它們需要很長時間才能在自然環(huán)境中被分解。

但由于PFAS具有極其穩(wěn)定的化學(xué)結(jié)構(gòu)和獨特的化學(xué)特性，兼具防水性及防油性，長久以來都極為受到制造商的青睞。自20世紀40年代以來，PFAS已在全球多個行業(yè)制造和使用。人們可以在以下常用的產(chǎn)品中找到PFAS的身影：如不粘炊具、去污劑和防水劑、油漆、清潔產(chǎn)品、食品包裝以及消防泡沫等。

（校對/李梅）